YS/T 14-1991 导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法
YS/T 14-1991 The method for measuring the thickness of the dopant-enriched epitaxial layer and the silicon eutectic layer
基本信息
标准号
YS/T 14-1991
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
废止
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
1991-04-26
实施日期
1992-06-01
发布单位/组织
中国有色金属工业总公司
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
-
1991年04月
-
2015年04月
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研制信息
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内容描述
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