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YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

YS/T 14-2015 Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers

行业标准-有色金属 中文简体 现行 页数：6页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 14-2015
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H21 金属物理性能试验方法
国际标准分类号（ICS）
77.040 金属材料试验
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法。
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100 nm的异质外延层和硅多晶层的厚度测量范围为1 μm~100 μm。

发布历史

文前页预览

YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法-第1页
YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法-第2页
YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法-第3页
YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法-第4页

研制信息

起草单位：
南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
起草人：
马林宝、杨帆、葛华、刘小青、孙燕、徐新华
出版信息：
页数：6页 | 字数：8 千字 | 开本： 大16开

内容描述

ICS77.040

H21

中华人民共和国有色金属行业标准

/—

YST142015

代替/—

YST141991

异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

Testmethodforthicknessofheteroeitaxlaersandolcrstallinelaers

pyypyyy

2015-04-30发布2015-10-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

中华人民共和国有色金属

行业标准

异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

/—

YST142015

*

中国标准出版社出版发行

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    被代替
    替代以下标准
    YS/T 14-1991
    YS/T 14-1991 导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法
    废止

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