YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
YS/T 14-2015 Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers
行业标准-有色金属
中文简体
现行
页数：6页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法。
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100 nm的异质外延层和硅多晶层的厚度测量范围为1 μm~100 μm。
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100 nm的异质外延层和硅多晶层的厚度测量范围为1 μm~100 μm。
发布历史
-
1991年04月
-
2015年04月
研制信息
- 起草单位：
- 南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
- 起草人：
- 马林宝、杨帆、葛华、刘小青、孙燕、徐新华
- 出版信息：
- 页数：6页 | 字数：8 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS77.040
H21
中华人民共和国有色金属行业标准
/—
YST142015
代替/—
YST141991
异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
Testmethodforthicknessofheteroeitaxlaersandolcrstallinelaers
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2015-04-30发布2015-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
中华人民共和国有色金属
行业标准
异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
/—
YST142015
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