GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
GB/T 14847-1993 Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
1993-12-24
实施日期
1994-09-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
-
1993年12月
-
2011年01月
研制信息
- 起草单位：
- 机电部四十六所和上海第二冶炼厂
- 起草人：
- 何秀坤、李光平、叶裕宗、严世权、王琴、张志刚、钱国胜
- 出版信息：
- 页数：7页 | 字数：12 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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