GB/T 16945-1997 电子工业用气体 氩

cB/T16945一1997

前言

本标准是根据SEMIC3.46-9309.9992%质量的散装液氢标准》(95年版)制定的，在技术要求

上与之等同，试验方法与之等效。

在将SEMIC3.46-93转化为国家标准时，结合我国实际情况，将适用范围扩大至瓶装氢气和管道

输送的氢气，删去SEMIC3.46-93中仅作为参考的说明、物理常数及注释等内容，试验方法中增加抽

样和氢气纯度两条，除氢、氮含量的测定采用SEMIC3.46-93的方法外，其余各项杂质含量的测定分

别采用我国相应的通用试验方法国家标准，同时对检测限和标样要求按SEMIC3.46-93的规定进行

适当的调整。以上变动与SEMIC3.46-93无实质性差异，使标准的技术内容更加完整。

本标准由中华人民共和国化学工业部提出。

本标准由化学工业部西南化工研究院归口。

本标准起草单位:化学工业部西南化工研究院、上海BOC气体工业有限公司、武钢氧气厂、洛阳单

晶硅厂。

本标准主要起草人:颜伯举、王少楠。

中华人民共和国国家标准

电子工业用气体氢GB/T16945一19-97

Gasesforelectronicindustry-Argon

1范围

本标准规定了电子工业用氢的技术要求、试验方法和包装、标志。

本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态氢和气态氢.

电子工业用氢气用于系统的吹扫、保护和增压，它还可用于化学气相淀积、溅射，等离子及活性离子

刻蚀剂和退火等不同工艺中。

分子式:Ar

相对分子质量:39.948按1991年国际相对原子质量)

2引用标准

下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均

为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。

GB/T4842-1995氨气

GB/T5832.1-86气体中微量水分的测定电解法

GB/T5832.2-86气体中微量水分的测定露点法

GB/T6285-86气体中微量氧的测定电化学法

GB/T8984.1-1997气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气相色谱法

GB/T8984.3-1997气体中总烃的测定气相色谱法

GB14193-1993液化气体气瓶充装规定

JB/TQ503-86低温液体槽车

JB/T6897-93低温液体容器

JB/T6898-93低温液体储运设备使用安全规则

3要求

电子工业用氢技术要求应符合表1的规定。