GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩
GB/T 16945-2009 Gas for electronic industry—Argon
基本信息
本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。
氩用于系统的吹扫、保护和增压，它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。
分子式：Ar。
相对分子质量：39.948(按2005年国际相对原子质量)。
发布历史
-
1997年08月
-
2009年10月
研制信息
- 起草单位：
- 北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院
- 起草人：
- 赵俊秀、周鹏云
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：6 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICs7i10020
G86
中华人民共和国国家标准
GB/T1694⒌-2009
代替GB/T169碴5-1997
电子工业用气体氩
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GasforeIectroniCindustryˉArgon
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GB/T16945-2009
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本标准代替GB/T16945-1997《电子工业用气体氩》。
本标准与GB/T16945—1997相比主要变化如下:
——修改氩的适用范围(GB/T16945—1997的第1章,本版的第1章)·
——增加规范性引用文件(GB/T16945—1997的第2章,本版的第2章);
——
修改技术指标内容:增加一类纯度和杂质含量(GB/T16945—1997的第3章,本版的第3章);
——修改瓶装氩抽样方法(GB/T16945—1997的‘11,本版的41D;
——增加、法(见41D,
集装阁装大容积钢质无缝气瓶和杜瓦罐装氩产品并规定检验方
—
—
修改管道输送的氩抽样方法(GB/T16945—1997的41~1,本版的41~2);
——荃
增加氩的采样安全要求(见.1.3〉;
——
一
修改氢、氧、氮、氧化碳和二氧化碳的测定方法(GB/T16945—1997的衽.3、44、4.5,本版的
4.3),
——准饪奎
增加其他方法测定总烃;当出现多种分析方法时,增加规定仲裁方法(见3、.4、5);
——
修改水分的测定方法(GB/T169遮5—1997的47,本版的45);
——改志、、运(GB/T169碴5—1997的5章,本的5章)。
修标包装贮及安全第版第
本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出。
本标准由全国导口。
半体材料和设各标准化技术委员会气体分会归
:北工、工.
本标准起草单位京氦普北分气体业有限公司西南化研究设计院
本标准主要起人:赵、云。
草俊秀周鹏
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
—
GB/T16945—1997。
GB/T16945-2009
电子工业用气体氩
1范围
,试、、运及全。
本标准规定了氩的技术要求验方法以及包装标志贮
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