GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩

GB/T 16945-2009 Gas for electronic industry—Argon

国家标准 中文简体 现行 页数:4页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 16945-2009
相关服务
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会
适用范围
本标准规定了氩的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。
氩用于系统的吹扫、保护和增压,它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。
分子式:Ar。
相对分子质量:39.948(按2005年国际相对原子质量)。

发布历史

研制信息

起草单位:
北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院
起草人:
赵俊秀、周鹏云
出版信息:
页数:4页 | 字数:6 千字 | 开本: 大16开

内容描述

ICs7i10020

G86

中华人民共和国国家标准

GB/T1694⒌-2009

代替GB/T169碴5-1997

电子工业用气体氩

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GB/T16945-2009

目刂昌

本标准代替GB/T16945-1997《电子工业用气体氩》。

本标准与GB/T16945—1997相比主要变化如下:

——修改氩的适用范围(GB/T16945—1997的第1章,本版的第1章)·

——增加规范性引用文件(GB/T16945—1997的第2章,本版的第2章);

——

修改技术指标内容:增加一类纯度和杂质含量(GB/T16945—1997的第3章,本版的第3章);

——修改瓶装氩抽样方法(GB/T16945—1997的‘11,本版的41D;

——增加、法(见41D,

集装阁装大容积钢质无缝气瓶和杜瓦罐装氩产品并规定检验方

修改管道输送的氩抽样方法(GB/T16945—1997的41~1,本版的41~2);

——荃

增加氩的采样安全要求(见.1.3〉;

——

修改氢、氧、氮、氧化碳和二氧化碳的测定方法(GB/T16945—1997的衽.3、44、4.5,本版的

4.3),

——准饪奎

增加其他方法测定总烃;当出现多种分析方法时,增加规定仲裁方法(见3、.4、5);

——

修改水分的测定方法(GB/T169遮5—1997的47,本版的45);

——改志、、运(GB/T169碴5—1997的5章,本的5章)。

修标包装贮及安全第版第

本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出。

本标准由全国导口。

半体材料和设各标准化技术委员会气体分会归

:北工、工.

本标准起草单位京氦普北分气体业有限公司西南化研究设计院

本标准主要起人:赵、云。

草俊秀周鹏

本标准所代替标准的历次版本发布情况为:

GB/T16945—1997。

GB/T16945-2009

电子工业用气体氩

1范围

,试、、运及全。

本标准规定了氩的技术要求验方法以及包装标志贮

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