GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
GB/T 17866-1999 Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysis of mask defect inspection systems
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 17866-1999
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
1999-09-13
实施日期
2000-06-01
发布单位/组织
国家质量技术监督局
归口单位
由SEMI中国标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
1999年09月
研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院微电子中心
- 起草人：
- 陈宝钦、陈森锦、廖温初、刘明
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：21 千字 | 开本： 大16开
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- GB/T 24184-2009 烧结熔剂用高钙脱硫渣 2009-06-25
- GB/T 24182-2009 金属力学性能试验 出版标准中的符号及定义 2009-06-25
- GB/T 24186-2009 工程机械用高强度耐磨钢板 2009-06-25
- GB/T 24176-2009 金属材料 疲劳试验 数据统计方案与分析方法 2009-06-25
- GB/T 24183-2009 金属材料 制耳试验方法 2009-06-25
- GB/T 24181-2009 金刚石焊接锯片基体用钢 2009-06-25
- GB/T 24185-2009 逐级加力法测定钢中 氢脆临界值试验方法 2009-06-25
- GB/T 24179-2009 金属材料 残余应力测定 压痕应变法 2009-06-25
- GB/T 24177-2009 双重晶粒度表征与测定方法 2009-06-25
- GB/T 24178-2009 连铸钢坯凝固组织低倍评定方法 2009-06-25