GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼

GB/T17874-1999

前言

本标准是根据我国三抓化硼的生产水平和实际使用情况而制定的，主要技术内容包括适用范围、技

术要求、检验方法、检验规则、安全要求以及产品包装、标志、储存、运输等。

本标准的附录A是提示的附录。

本标准于1999年9月16日首次发布。

本标准由国家石油和化学工业局提出。

本标准由西南化工研究设计院归口。

本标准起草单位:光明化工研究设计院。

本标准参加起草单位:西南化工研究设计院、北京有色金属研究总院。

本标准主要起草人:张琳、赵敏、蔡体杰。

本标准参加起草人:朱心才、蒋文全、佘中玉。

中华人民共和国国家标准

电子工业用气体GB/T17874一1999

三氮化硼

Gasesforelectronicindustry-Borontrichloride

分子式:BC13

相对分子质量:117.169(按1997年国际相对原子质量)

101.3kPa下的沸点:12.4C

范围

本标准规定了电子工业用三抓化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和

安全要求。

本标准适用于以粗制三抓化硼为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三抓化硼，主要用于电子

工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注人、干法蚀刻等工艺。

2引用标准

下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均

为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。

GB190-1990危险货物包装标志

GB5099-1994钢质无缝气瓶

GB/T5274-1985气体分析校准用混合气体的制备称量法

GB7144-1986气瓶颜色标记

GB/T7445-1995纯氢、高纯氢和超纯氢

GB/T8980-1998高纯氮

GB11640-1989铝合金无缝气瓶

3要求

三抓化硼的技术指标应符合表1的要求，其中金属和顺粒的要求及其检验方法由供方和用户商定

表1技术指标

项目指标

三抓化翻纯度.10-=(v/v))i99.999

氧和缸(以氧计)含2110-0(V/V)(2

氮含量,10-6(v/v)《4

一氧化碳含量.10一‘(V/V)(0.2

二氧化碳含t,10一(v/v)(0.5

甲烷含量,10-0(v/v)(0.5

国家质f技术监督局1999一09一16批准2000一06一01实施

GB/T17874一1999

4检验方法

4.1三抓化硼的纯度

三抓化硼的纯度按式((1)计算

4100一仔1十01+03+0,+4s)X10-0·····················……(1)

式中:价—三抓化硼纯度，10'(V/V);