GB/T 17874-2021 电子特气 三氯化硼
GB/T 17874-2021 Electronic specialty gas—Boron trichloride
国家标准
中文简体
现行
页数：11页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2021-10-11
实施日期
2022-05-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
本文件规定了电子级三氯化硼的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。
本文件适用于以粗制三氯化硼为原料提纯制得的电子级三氯化硼。
本文件适用于以粗制三氯化硼为原料提纯制得的电子级三氯化硼。
发布历史
-
1999年09月
-
2011年01月
-
2021年10月
研制信息
- 起草单位：
- 大连保税区科利德化工科技开发有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、和立气体(上海)有限公司、太和气体(荆州)有限公司、广东华特气体股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、福建久策气体股份有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公司、上海兄弟微电子技术有限公司、浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处(杭州国家电子商务产品质量监测处置中心)、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司
- 起草人：
- 施旖旎、赵趫、孙福楠、梁永强、梁成科、阳辉、傅铸红、陈艳珊、丁高松、何经余、曹素英、宋富财、苏子杰、廖恒易、刘健、史婉君、张建君、王新喜、孙猛、史隽涛、周礼誉、鬲春利、张琦炎、吕博文、陈洁、吴靓、方华、辛伶、何波、黄小强、黄辉、刘扬涛、宫兵、易达文、李阳、高静、李威、赵帅德、余民、周鹏云、沈翠平
- 出版信息：
- 页数：11页 | 字数：21 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS71.100.20
CCSG86
中华人民共和国国家标准
/—
GBT178742021
代替/—
GBT178742010
电子特气三氯化硼
—
ElectronicsecialtasBorontrichloride
pyg
2021-10-11发布2022-05-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT178742021
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规
GBT1.120201
定起草。
/—《》。/—,
本文件代替电子工业用气体三氯化硼与相比除
GBT178742010GBT212872007
,:
结构调整和编辑性改动外主要技术变化如下
———(,);
更改了三氯化硼应符合的技术要求见第章年版的第章
420103
———(,);
更改了检验规则的要求见第章年版的
520104.1
———(,);
更改了纯度计算方法见6.12010年版的4.2
———、、、(
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