GB/T 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼
GB/T 17874-2010 Gases for electronic industry-Boron trichloride
基本信息
标准号
GB/T 17874-2010
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2011-01-14
实施日期
2011-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)
适用范围
本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
分子式：BCl3。
相对分子质量：117.1691(按2007年国际相对原子质量计算)。
本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
分子式：BCl3。
相对分子质量：117.1691(按2007年国际相对原子质量计算)。
发布历史
-
1999年09月
-
2011年01月
-
2021年10月
研制信息
- 起草单位：
- 西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院
- 起草人：
- 孙福楠、方华、庄鸿涛、周鹏云
- 出版信息：
- 页数：7页 | 字数：11 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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