GB/T 14603-2025 电子气体 卤化物气体

ICS7110020

CCSG.86.

中华人民共和国国家标准

GB/T14603—2025

代替GB/T14603—2009GB/T26251—2010等

,

电子气体卤化物气体

Electronicgas—Halidegas

2025-08-01发布2026-02-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T14603—2025

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替电子工业用气体三氟化硼电子工业用气

GB/T14603—2009《》、GB/T14602—2014《

体氯化氢电子工业用气体高纯氯电子特气三氯化

》、GB/T18994—2014《》、GB/T17874—2021《

硼氟和氟氮混合气体与

》、GB/T26251—2010《》,GB/T14603—2009、GB/T14602—2014、

相比除结构调整和编辑性改动外主要

GB/T18994—2014、GB/T17874—2021、GB/T26251—2010,,

技术变化如下

:

更改了范围见第章的第章的第章

———(1,GB/T14603—20091、GB/T14602—20141、

的第章的第章的第章

GB/T18994—20141、GB/T17874—20211、GB/T26251—20101);

增加了术语和定义见第章

———“”(3);

更改了卤化物气体的技术要求见第章的第章

———(4,GB/T14603—20093、GB/T14602—2014

的第章的第章的第章

3、GB/T18994—20143、GB/T17874—20214、GB/T26251—2010

的第章

3);

更改了采样的要求见第章的的

———(5,GB/T14603—20094.1.2、GB/T14602—20144.1.2、

的的的

GB/T18994—20144.1.2、GB/T17874—20215.2、GB/T26251—20104.1.3);

更改了纯度计算方法见的

———(6.1,GB/T14603—20094.2);

更改了三氟化硼中氧氩氮二氧化碳二氧化硫含量的测定方法见

———+、、、(6.2,GB/T14603—

的和

20094.34.6);

增加了三氟化硼中甲烷一氧化碳含量的测定方法见

———、(6.2);

更改了三氟化硼中四氟化硅含量的测定方法见的

———(6.3,GB/T14603—20094.4);

删除了三氟化硼中硫酸盐含量的测定方法见的

———(GB/T14603—20094.5);

增加了三氟化硼中氟化氢含量的测定方法见

———(6.3);

更改了氯化氢中氧氩氮甲烷乙炔一氧化碳二氧化碳含量的测定方法见

———+、、、、、(6.4,

的

GB/T14602—20144.3);

更改了高纯氯中氢氧氩氮甲烷一氧化碳二氧化碳含量的测定方法见

———、+、、、、(6.5,GB/T18994—

的

20144.3);

更改了高纯氯中金属元素含量的测定方法见的

———(6.17,GB/T18994—20144.5);

增加了三氟化氯中氧氩氮四氟化碳含量的测定方法见

———+、、(6.9);

增加了三氟化氯中氟化氢含量的测定方法见

———(6.10);

更改了氟氮混合气中氟含量的测定方法见的

———(6.11,GB/T26251—20104.2);

更改了氟氮混合气中氧氩含量的测定方法见的

———(+)(6.12,GB/T26251—20104.2);

更改了氟氮混合气中四氟化碳氟化氢含量的测定方法见的

———、(6.13,GB/T26251—20104.2);

增加了氟氮混合气中六氟化硫一氧化碳二氧化碳碳酰氟四氟化硅含量的测定方法见

———、、、、(

6.13);

增加了溴化氢中氢氧氩氮甲烷一氧化碳二氧化碳含量的测定方法见

———、+、、、、(6.14);

增加了溴化氢中氯化氢含量的测定方法见

———(6.15);

增加了溴化氢中水分含量的测定方法见

———(6.16);

增加了三氟化硼中金属元素含量的测定方法见

———(6.17);

Ⅰ

GB/T14603—2025

更改了氯化氢中金属元素含量的测定方法见的

———(6.17,GB/T14602—20144.5);

增加了三氟化氯中金属元素含量的测定方法见

———(6.17);

增加了溴化氢中金属元素含量的测定方法见

———(6.17);

增加了尾气处理的要求见

———(6.18);

更改了检验规则见第章的的

———(7,GB/T14603—20094.1、GB/T14602—20144.1、

的的

GB/T18994—20144.1、GB/T26251—20104.1);

更改了标志包装运输贮存及安全信息的要求见第章的第章

———、、、(8,GB/T14603—20095、

的第章的第章的第章

GB/T14602—20145、GB/T18994—20145、GB/T17874—20218、

的第章

GB/T26251—20105)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本文件起草单位昊华气体有限公司西南分公司福建德尔科技股份有限公司山东合益气体股份

:、、

有限公司浙江瑞亨电子材料有限公司北京华宇同方化工科技开发有限公司福建福豆新材料有限公

、、、

司大连华邦化学有限公司浙江中宁硅业股份有限公司福建永晶科技股份有限公司迪森尔北京科

、、、、()

技有限公司上海栎智半导体科技有限公司唐山三友电子化学品有限责任公司浙江英德赛半导体材

、、、

料股份有限公司广州广钢气体能源股份有限公司同方威视技术股份有限公司北京鉴知技术有限公

、、、

司宁波从越科技创新有限公司天津绿菱气体股份有限公司福建久策气体股份有限公司北京普瑞分

、、、、

析仪器有限公司大连科利德半导体材料股份有限公司广东华特气体股份有限公司南大光电乌兰察

、、、(

布有限公司福建恒申电子材料科技有限公司中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司中昊光明化工

)、、()、

研究设计院有限公司大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司液化空气中国投资有限公司

、、()、

布鲁克北京科技有限公司杭州云必技术有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司大连大特气体

()、、、

有限公司联雄投资上海有限公司朗析仪器上海有限公司杭州新世纪混合气体有限公司沈阳中

、()、()、、

复科金压力容器有限公司中国计量大学北京睿信捷环保科技有限公司中国计量测试学会爱尔兰

、、、、

仪器有限公司北京代表处上海凡伟仪器设备有限公司贵州省产品质量检验检测院宿州伊维特

AGC、、、

新材料有限公司西南化工研究设计院有限公司

、。

本文件主要起草人赖晓峰陈施华杨军李建新郭晓俊马建修李嘉磊王哲军李智孙芳

:、、、、、、、、、、

郭琼侯鹏钱吉赵斌吴希湖刘春花李文李长健彭佛晓任如徐正军郑存强倪志远赵晓兰

、、、、、、、、、、、、、、

董晓阳陆岩柱陈志强王红球黄韬汤萍吴禹强何经余李景升赵银凤施旖旎陈艳珊杨俊豪

、、、、、、、、、、、、、

王新喜刘光宇吕磊李庭辉郑秋艳滕鑫胜孙福楠常侠牛迪殷昊王若雯赵跃王军锋李安林

、、、、、、、、、、、、、、

方华辛伶杜雨桐黄辉李建浩王祥科张金波李明宫兵张朋越赵洁杨扬仲夫任希辉何波

、、、、、、、、、、、、、、

唐中伟程化鹏谈益强尹乐乐周鹏云唐霞梅

、、、、、。

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为

:

年首次发布为年第一次修订为

———1993GB/T14603—1993,2009GB/T14603—2009;

年首次发布为年第一次修订为年第

———1993GB/T14602—1993,2009GB/T14602—2009、2014

二次修订时并入了电子工业用气体氯化氢的内容

GB/T24469—2009《5N》;

年首次发布为年第一次修订为

———2003GB/T18994—2003,2014GB/T18994—2014;

年首次发布为年第一次修订为年第

———1999GB/T17874—1999,2010GB/T17874—2010,2021

二次修订为

GB/T17874—2021;

年首次发布为

———2010GB/T26251—2010;

本次为第三次修订将

———,GB/T14603—2009、GB/T14602—2014、GB/T18994—2014、

整合修订

GB/T17874—2021、GB/T26251—2010。

Ⅱ

GB/T14603—2025

电子气体卤化物气体

1范围

本文件规定了卤化物气体的技术要求描述了相应的试验方法还规定了采样检验规则标志包

,,、、、

装运输及贮存要求并提供了安全信息

、。

本文件适用于以工业卤化物气体为原料提纯制得的卤化物气体

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

危险货物包装标志

GB190

纯氦高纯氦和超纯氦

GB/T4844、

所有部分钢质无缝气瓶

GB/T5099()

气体中微量水分的测定第部分光腔衰荡光谱法

GB/T5832.33:

分析实验室用水规格和试验方法

GB/T6682

气瓶颜色标志

GB/T7144

纯氮高纯氮和超纯氮

GB/T8979、

气体分析气体中微量一氧化碳二氧化碳和碳氢化合物含量的测定火焰离子化

GB/T8984、

气相色谱法

铝合金无缝气瓶

GB/T11640

居住区大气中氯卫生检验标准方法甲基橙分光光度法

GB/T11736

液化气体气瓶充装规定

GB/T14193

化学品安全标签编写规定

GBl5258

气瓶警示标签

GB/T16804

气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T28726

大容积钢质无缝气瓶

GB/T33145

电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法

GB/T34972

气体分析采样导则

GB/T43306

特种设备生产和充装单位许可规则

TSG07

气瓶安全技术规程

TSG23

移动式压力容器安全技术监察规程

TSGR0005

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

卤化物气体halidegas

包括三氟化硼氯化氢高纯氯三氯化硼三氟化氯氟氮混合气溴化氢

、、、、、、。

1