GB/T 14603-1993 电子工业用气体 三氟化硼

中华人民共和国国家标准

GB/'r14603一93

电子工业用气体三氟化硼

Gasesforelectronicindustry-Borontrifluoride

主题内容与适用范围

本标准规定了三氟化硼产品的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求。

本标准适用于以氟硼酸钠为原料，采用热分解法制得的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路

生产的离子注入和掺杂。

分子式:BF3

相对分子质量:67.805(按1989年国际相对原子质量)

2弓!用标准

GB190危险货物包装标志

GB4844氦气

GB4845氦气检验方法

GB5274气体分析校准用混合气体的制备称量法

GB5275气体分析校准用混合气体的制备渗透法

GB7144气瓶颜色标记

GB11640铝合金无缝气瓶

3技术要求

三氟化硼的质量应符合下表的技术要求。

指标

项目

优等品一等品合格品

三氟化硼纯度，10-2)99.99599.9599.6

空气含量,10-6<201004000

二氧化硫含量,10‘<101020

四氟化硅含量，10-'<20300300

硫酸盐含量，10“<8810

注:①表中纯度和含量均为摩尔分数。

②质量保证期一年

4试验方法

4.1三报化硼的纯度

国家技术监督局1993一08一26批准1994一07一01实施

GB/T14603一93

用摩尔分数表示，按式(1)计算。

z=100一(X,+=3+T3+=4)x10-4·····················……(1)

式中:二—三氟化硼纯度，1。一2;

s,—空气含量，10-s;

x,—二氧化硫含量,10-0;

X3-R氟化硅含量,10-0;

二—‘硫酸盐含量,10-`,

4.2空气和二级化硫含f的测定

4.2.1方法

采用热导色谱法测定。

4.2.2仪器

气相色谱仪。要求仪器对空气(氧+氮)、二氧化硫的最小检测量均应比待测样品含量低约一个数量

级。色谱仪的其余各项技术指标应符合仪器使用说明书的要求。

4.2.3操作参考条件

a.检测器:热导池，冷阻约120。;

b.热导池温度:约80'C;

:.热导池桥路电流:约180mA;

d.载气:氦气，应符合GB4844中纯氦一级品的规定;

e载气流速:约30mL/min;

f.进样体积,1一3mL;

9.色谱柱温度:约900C;

h.色谱柱:长1m、内径2.5mm的聚四氟乙烯柱，柱内紧密装填0.2-0.15mm的porapakQ;

i.取样与进样管线均采用聚四氟乙烯管。

4.2.4测定步骤

4.2-4.1测定

将样品气经针形阀和连接管与仪器连接，在经充分置换并取得代表样之后，向色谱仪进样。记录各

被测组分的流出曲线，分别测量各组分的峰面积。重复进样二次，当其相对偏差不大于10%时，取其平

均值A。

4-2-4.2定标

按GB5274或按GB4845附录C配制以氦气为底气的空气标准混合气，按GB5275配制以氦气为