GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼
GB/T 14603-2009 Gases for electronic industry—Boron trifluoride
基本信息
标准号
GB/T 14603-2009
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会
适用范围
本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。
本标准适用于以氟气和硼单质为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。
分子式：BF3。
相对分子质量：67.805（按2005年国际相对原子质量计算）。
本标准适用于以氟气和硼单质为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。
分子式：BF3。
相对分子质量：67.805（按2005年国际相对原子质量计算）。
发布历史
-
1993年08月
-
2009年10月
-
2025年08月
研制信息
- 起草单位：
- 核工业理化工程研究院、大连光明化工研究院、西南化工研究设计院
- 起草人：
- 邓建平、倪志强、孙福楠、周鹏云
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：18 千字 | 开本： 大16开
内容描述
犐犆犛７１．１００．２０
犌８６
中华人民共和国国家标准
／—
犌犅犜１４６０３２００９
代替／—
ＧＢＴ１４６０３１９９３
电子工业用气体三氟化硼
—
犌犪狊犲狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉犅狅狉狅狀狋狉犻犳犾狌狅狉犻犱犲
狔
２００９１０３０发布２０１００５０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
／—
犌犅犜１４６０３２００９
前言
本标准代替／—《电子工业用气体三氟化硼》。
ＧＢＴ１４６０３１９９３
本标准与／—相比主要区别如下：
ＧＢＴ１４６０３１９９３
———修改三氟化硼的适用范围（／—的第章，本版的第章）；
ＧＢＴ１４６０３１９９３１１
———修改规范性引用文件（／—的第章，本版的第章）；
Ｇ
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