GB/T 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯

ICS71.100.20

G86OB

中华人民共和国国彖标准

GB/T18994—2014

代替GB/T18994—2003

电子工业用气体高纯氯

Gasesforelectronicindustry—Highpuritychlorine

2014-12-22发布2015-07-01实施

GB/T18994—2014

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本标准按GB/T1.1—2009给出的规则起草。

本标准代替GB/T18994—2003«电子工业用气体高纯氯》。与GB/T18994—2003相比，除编辑

性修改外主要技术内容变化如下：

——修改了范围（见第1章,2003年版的第1章）；

——修改了规范性引用文件（见第2章,2003年版的第2章）；

——修改了技术要求（见第3章,2003年版的第3章）；

——修改了抽样、判定（见4.1,2003年版的第5章）；

——删去了取样装置的规定（2003年版的4.1）；

——修改了氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、怪含量的测定方法（见4.3,2003年版的4.3、4.4）；

——增加了氢含量的测定方法（见4.3）；

——修改了水分含量的测定方法（见4.4,2003年版的4.5）；

——增加了金属元素含量的测定方法（见4.5）；

——修改了标志、包装、贮运及安全（见第5章,2003年版的第6、7章）。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。

本标准起草单位：西南化工研究设计院有限公司、光明化T研究设计院有限公司、佛山市华特气体

有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、太和气体（荆州）有限公司、上海仪盟科技有限公司。

本标准主要起草人:周鹏云、常侠、廖恒易、方华、刘新明、汪正宏、杨任。

本标准所代替标准的历次版本发布情况为：

——GB/T18994—2003o

T

GB/T18994—2014

电子工业用气体高纯氯

1范围

本标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存。

本标准适用于以丁业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规

模集成电路、光导纤维、高温超导、平板显示器、太阳能等技术领域。

分子式：（X。

相对分子质量：70.90（按2009年国际相对原子质量计算）。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T3723丁业用化学产品采样安全通则

GB5099钢质无缝气瓶

GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分:光腔衰荡光谱法

GB7144气瓶颜色标志

GB11984氯气安全规程

GB14193液化气体气瓶充装规定

GB15258化学品安全标签编写规定

GB16804气瓶警示标签

GB/T26571特种气体储存期规范

GB/T28726—2012气体分析氮离子化气相色谱法

气瓶安全监察规程（2000版）

危险化学品安全管理条例（2002版）

持种设备安全监察条例（2009版）

3技术要求

高纯氯的技术要求应符合表1的要求。

表1技术指标

项目