GB/T 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢

ICS71.100.20

G86

中华人民共和国国家标准

/—

GBT146022014

代替/—、/—

GBT146021993GBT244692009

电子工业用气体氯化氢

—

GasesforelectronicindustrHdroenchloride

yyg

2014-12-22发布2015-07-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT146022014

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准代替/—《电子工业用气体氯化氢》、/—《电子工业用气体

GBT146021993GBT2446920095N

》。/—、/—,:

氯化氢与GBT146021993GBT244692009相比除编辑性修改外主要技术变化如下

———(,、/—);

修改了范围见第章年版的第章的第章

119931GBT2446920091

———(,、/—);

修改了规范性引用文件见第章年版的第章的第章

219932GBT2446920092

———(,、/—);

修改了技术要求见第章年版的第章的第章

319933GBT2446920093

———、(,、/—);

修改了抽样判定见年版的第章的第章

4.119935GBT2446920095

———、、、、(,、、

修改了氧氩氮一氧化碳二氧化碳烃含量的测定方法见年版的

+4.319934.24.3

/—的、);

GBT2446920094.34.5

———();

删除了氢含量的测定方法见1993年版的4.5

———(,、/—);

修改了水分含量的测定方法见年版的的

4.419934.4GBT2446920094.4

———(,/—);

修改了金属元素含量的测定方法见的

4.5GBT2446920094.6

———、、(,、、/—

修改了标志包装贮运及安全见第章年版的第章第章的

5199367GBT244692009

、、)。

第章第章第章

678

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)提出并归口。

SACTC203

:、、

本标准起草单位北京华宇同方化工科技开发有限公司西南化工研究设计院有限公司佛山市华

、、、

特气体有限公司光明化工研究设计院有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司上海仪盟科技有限

公司。

:、、、、、。

本标准主要起草人张吉瑞孙福楠杜汉盛方华周鹏云杨任

本标准所代替标准的历次版本发布情况为:

———/—、/—。

GBT146021993GBT244692009

Ⅰ

/—

GBT146022014

电子工业用气体氯化氢

1范围

、、、、。

本标准规定了氯化氢的技术要求试验方法标志包装贮运及安全

,。

本标准适用于以工业氯化氢为原料采用纯化制得的氯化氢产品该产品主要用于微电子工业中

、,、、、

气相抛光外延和刻蚀工艺也可用于硬质合金玻璃表面处理医药中间体和精细化学品制造科学研

究等领域。

分子式:。

HCl

:()。

相对分子质量按年国际相对原子质量计算

36.4582009

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

GB190危险货物包装标志

/工业用化学产品采样安全通则

GBT3723

GB5099钢质无缝气瓶

/:

气体中微量水分的测定第部分光腔衰荡光谱法

GBT5832.33

GB7144气瓶颜色标志

GB14193液化气体气瓶充装规定

GBl5258化学品安全标签编写规定

GB16804气瓶警示标签

/特种气体储存期规范

GBT26571

/—气体分析氦离子化气相色谱法

GBT287262012

气瓶安全监察规程(版)

2000

危险化学品安全管理条例(版)

2002

特种设备安全监察条例(版)

2009

3技术要求

氯化氢的技术要求应符合表的要求。

1

表1技术指标

项目指标

()/-2

氯化氢纯度体积分数10≥99.99999.9995

()()/-6

氧氩含量体积分数

+O+Ar10<1.00.5

2

()()/-6

氮N2含量体积分数10<2.02.0

()()/-6

二氧化碳CO2含量体积分数10<2.01.0

1

/—

GBT146022014

()

表1续

项目指标

()()/-6

一氧化碳CO含量体积分