GB/T 24469-2009 电子工业用气体 5N氯化氢
GB/T 24469-2009 Gas for electronic industry—5N hydrogen chloride
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2009-10-15
实施日期
2009-12-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC 203)
适用范围
本标准规定了电子工业用气体5N氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、储存、充装、分装和安全要求。本标准适用于以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液化氯化氢。
发布历史
-
2009年10月
研制信息
- 起草单位：
- 北京华宇同方化工科技开发有限公司、光明化工研究设计院、信息产业部标准化四所
- 起草人：
- 张吉瑞、孙福楠、刘筠
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：21 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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犌８６
中华人民共和国国家标准
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电子工业用气体５犖氯化氢
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２００９１０１５发布２００９１２０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
／—
犌犅犜２４４６９２００９
前言
本标准根据／—《电子工业用气体氯化氢》同类产品标准，结合原料、生产工艺特
ＧＢＴ１４６０２１９９３
点及半导体工艺对氯化氢产品的新要求而制定。国家标准／—《电子工业用气体氯
ＧＢＴ１４６０２１９９３
化氢》在产品质量控制指标及其检验方法上已不适合当前半导体工艺的新要求，尤其未能规定对半导体
器件质量有
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