GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮
GB/T 16944-2009 Gas for electronic industry—Nitrogen
基本信息
标准号
GB/T 16944-2009
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会
适用范围
本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮，以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压，化学气相淀积等。
发布历史
-
1997年08月
-
2009年10月
研制信息
- 起草单位：
- 中国计量科学研究院、西南化工研究设计院
- 起草人：
- 周泽义、周鹏云
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：12 千字 | 开本： 大16开
内容描述
犐犆犛７１．１００．２０
犌８６
中华人民共和国国家标准
／—
犌犅犜１６９４４２００９
代替／—
ＧＢＴ１６９４４１９９７
电子工业用气体氮
—
犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉犖犻狋狉狅犲狀
狔犵
２００９１０３０发布２０１００５０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
／—
犌犅犜１６９４４２００９
前言
本标准代替／—《电子工业用气体氮》。
ＧＢＴ１６９４４１９９７
本标准与／—相比主要变化如下：
ＧＢＴ１６９４４１９９７
———修改电子工业用氮的适用范围（／—的第章，本版的第章）；
ＧＢＴ１６９４４１９９７１１
———修改规范性引用文件（／—的第章，本版的第章）；
ＧＢＴ１６９４４１９９７２２
———修改技术指标内容（／—的第
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