GB/T 16944-1997 电子工业用气体 氮

GB/T16944一1997

前言

本标准是根据SEMIC3.28-92瓶《装VLSI级氮标准》(1995年版)制定的，在技术要求上与之等

同，检验方法与之等效。

在将SEMIC3.28-92转化为本国家标准时，结合我国的实际情况，将标准的适用范围扩大至液态

氮和管道输送氮，删去了SEMIC3.28-92中仅作为参考的物理常数和注释等内容，试验方法中增加了

抽样和氮气纯度两条，各项杂质含量的测定，分别采用我国相应的通用试验方法国家标准，同时对检测

限和标样要求按SEMI标准规定进行了适当的调整。以上变动与SEMI标准无实质性差异，并使标准的

技术内容更加完整。

本标准由中华人民共和国化学工业部提出。

本标准由化学工业部西南化工研究院归口。

本标准起草单位:化学工业部西南化工研究院、北京普莱克斯实用气体有限公司。

本标准主要起草人:何道善。

中华人民共和国国家标准

电子工业用气体氮GB/T16944一1997

Gasesforelectronicindustry-Nitrogen

1范围

本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于从分离空

气或氨还原法制得的氮，在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压，也用于化学气相淀积

时的载气等。

氮气化学性质不活泼，不可燃，是一种窒息性气体。

分子式:NZ。

相对分子质量:28.0134(按1991年国际相对原子质量)。

2引用标准

下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均

为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。

CUB/T3864-1996Y业氮

GB/T5832.1-86气体中微量水分的测定电解法

GB/T5832.2-86气体中微量水分的测定露点法

GB/T628