GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦
GB/T 16943-2009 Gas for electronic industry—Helium
基本信息
标准号
GB/T 16943-2009
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会
适用范围
本标准规定了氦的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦，以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。
分子式：He。
相对分子质量：4.003（按2005年国际相对原子质量）。
本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦，以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制造中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。
分子式：He。
相对分子质量：4.003（按2005年国际相对原子质量）。
发布历史
-
1997年08月
-
2009年10月
研制信息
- 起草单位：
- 西南油气田分公司成都天然气化工总厂、北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院
- 起草人：
- 刘泽军、付永成、赵俊秀、周鹏云
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：12 千字 | 开本： 大16开
内容描述
犐犆犛７１．１００．２０
犌８６
中华人民共和国国家标准
／—
犌犅犜１６９４３２００９
代替／—
ＧＢＴ１６９４３１９９７
电子工业用气体氦
—
犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉犎犲犾犻狌犿
狔
２００９１０３０发布２０１００５０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
／—
犌犅犜１６９４３２００９
前言
本标准代替／—《电子工业用气体氦》。
ＧＢＴ１６９４３１９９７
本标准与／—相比主要变化如下：
ＧＢＴ１６９４３１９９７
———修改氦的适用范围（／—的第章，本版的第章）；
ＧＢＴ１６９４３１９９７１１
———修改规范性引用文件（／—的第章，本版的第章）；
ＧＢＴ１６９４３１９９７２２
———修改技术指标内容：增加一类产品纯度和杂质含量（／—的第章，本版的第
ＧＢＴ１６９４３１９９７３
３章）；
———
定制服务
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