GB/T 14602-1993 电子工业用气体 氯化氢

中华人民共和国国家标准

GB/'r14602一93

电子工业用气体氯化氢

Gasesforelectronicindustry-Hydrogenchloride

1主题内容与适用范围

本标准规定了氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。

本标准适用于以氢、氯为原料合成的氯化氢和以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液态氯化氢。

氯化氢主要用于电子工业，在集成电路生产中用于蚀刻、钝化、外延等工艺。也可用于金属冶炼、光

导通讯和科学研究等领域。

分子式HCl

相对分子质量:36.461(按1989年国际相对原子质量)

2引用标准

GB19。危险货物包装标志

GB4845氦气检验方法

GB7144气瓶颜色标记

GB7445氢气

GB8984气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气相色谱法

3技术要求

氯化氢的质量应符合下表的技术要求。

项目指标

氯化氢纯度，10，)99.9944

二氧化碳含量'10-1(10

氮含量,10-6簇16

氧+氢含量,lo‘镇5

烃类含量,lo‘《s

水含量.1。已(10

氢含量,lo‘簇10

注:①本指标系瓶装产品的气体质量指标，保证期6个月。

②表中纯度和含量系体积分数。

4检验方法

4门氮化氢纯度

国家技术监督局1993一08一26批准1994一07一015M

GB/T14602一93

><(化Z的纯度(v八厂)按式(1)计3)

甲=100一(叭+T2+91,+9}i+叽+9}R)Xlo-·····················……(I)

式‘卜“-一诫化氢的纯度,102;

Ti一一氧(含1r()含Q,10;‘

子一一氮含I1,106,

q,--一氧化碳含U'lo';

华一烃类含址.10;‘

爹-一水含址.10;‘

外一一'-l含Q,lo。

4.2氧(含氖)、氮含量的测定

4.2门方法原理

采用气相色谱法，以热导检测器检测。首先将样品气经预分离柱使氯化氢与被测组分分离，并切割

反吹出械化氢然后再经色谱柱将被测组分中的氧与氮分离，依次进人检测器检测。由于氧、氮含量与热

异检测器所引起的桥路阻值变化成正比。由此定量氧、氮

4.2.2仪器

采用装配有切割反吹气路的热导色谱仪，仪器对氧、氮的最低检测浓度应符合本标准要求。测定装

羚的户意流程图见附录A(参考件)图Al

4.2.3测定参考条件

检测器:冷阻值120Sb的热导池;

b.桥路电流:200mA;

。.载气纯度:不低于99.9999X10-2氢气;

d.载气流速:40ml./min;

e.反吹气纯度:不低于”.9999X10-2的氢气;

f.反吹气流速:70ml,/min;

9.预分离柱:长800mm、内径4mm的不锈钢管，内装。2-0.3mm的porapakQ，柱温为室温;

h.色谱柞:长900mm、内径4mm的不锈钢管，内装。4^0.5mm的13X分子筛，柱温为50'C;

i.进样体积:5mL,

4.2.4测定步骤

4.2.4门启动按气相色谱仪使用说明书启动仪器。先开启载气，调整仪器各部位达测定条件，然后接

通热导池电源，待仪器工作稳定

4.2.4.2空k'I:按正常测定方法进行，空白进样检验气路系统的密封性。

4.2.4.3K换:将样品气经气路与色谱仪相连，调整阀3和阀5，用20倍以上管道体积的样品气充分

V{s换连接管道和进样管，使所取样品具有代表性。

4.2.4.4进样:转动阀6，令进样管中的样品气随载气进入预分离柱，分离并切割掉其中的氯化氢，然

后再随载气进入色谱柱，使被测组分氧、氮分离后，依次进入检测器测定。

4.2-4.5切割:进样后当氧、