GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南

GB/T 34971-2017 Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry

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基本信息

标准号

GB/T 34971-2017

标准类型

国家标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

G86 工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）

71.040.40 化学分析

发布日期

2017-11-01

实施日期

2018-02-01

发布单位/组织

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

适用范围

本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。本标准适用于半导体制造用气体的处理。

发布历史

2017年11月

GB/T 34971-2017　半导体制造用气体处理指南

当前标准现行 2017-11-01

文前页预览

研制信息

起草单位：: 中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院

起草人：: 孙福楠、牛艳东、廖恒易、杜汉盛、王鸿、方华、陈鹰、周鹏云

出版信息：: 页数：20页 | 字数：38 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS71.040.40

G86

中华人民共和国国家标准

/—

GBT349712017

半导体制造用气体处理指南

Guideforaseouseffluenthandlininsemiconductorindustr

ggy

2017-11-01发布2018-02-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT349712017

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)提出并归口。

SACTC203

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