T/TMAC 335-2026 离子注入设备用静电卡盘极端环境兼容性及长期可靠性试验方法

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标准号

T/TMAC 335-2026

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

C39 医用电子仪器设备

国际标准分类号（ICS）

31.080.99 其他半导体分立器件

发布日期

2026-01-30

实施日期

2026-01-30

发布单位/组织

归口单位

中国技术市场协会

适用范围

本文件适用于离子注入设备中使用的静电卡盘在环境兼容性及长期可靠性评估。本文件规定了离子注入设备用静电卡盘极端环境兼容性及长期可靠性试验的总体要求、试验方法、试验报告和安全注意事项

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起草单位：: 北京烁科中科信电子装备有限公司、广东精瓷新材料有限公司、深圳市华芯半导体装备技术有限公司、娄底市鑫伟达金属材料有限公司、常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州合志杰新材料技术有限公司

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