T/TMAC 335-2026 离子注入设备用静电卡盘极端环境兼容性及长期可靠性试验方法
T/TMAC 335-2026
团体标准
中文(简体)
现行
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|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/TMAC 335-2026
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2026-01-30
实施日期
2026-01-30
发布单位/组织
-
归口单位
中国技术市场协会
适用范围
本文件适用于离子注入设备中使用的静电卡盘在环境兼容性及长期可靠性评估。
本文件规定了离子注入设备用静电卡盘极端环境兼容性及长期可靠性试验的总体要求、试验方法、试验报告和安全注意事项
发布历史
-
2026年01月
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研制信息
- 起草单位：
- 北京烁科中科信电子装备有限公司、广东精瓷新材料有限公司、深圳市华芯半导体装备技术有限公司、娄底市鑫伟达金属材料有限公司、常熟市兆恒众力精密机械有限公司、苏州合志杰新材料技术有限公司
- 起草人：
- 刘瑞强、陈闻杰、夏裕、胡卫国、罗中平、王成杰、李士会、陈关亮
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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