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T/CZSBDTHYXH 001-2023 半导体晶圆缺陷自动光学检测设备

T/CZSBDTHYXH 001-2023 Semiconductor wafer defect automatic optical inspection equipment

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CZSBDTHYXH 001-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2023-08-08
实施日期
2023-08-09
发布单位/组织
-
归口单位
常州市半导体行业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了半导体晶圆缺陷光学检测仪的术语和定义、产品型号、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求

发布历史

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研制信息

起草单位：
江苏维普光电科技有限公司、常州市半导体行业协会、国家半导体照明产品质量检验检测中心（江苏）（常州检验检测标准认证研究院）、常州工学院
起草人：
刘建明、刘庄、张彦鹏、周佼、王宏才、郭魂、张鸣杰
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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