T/CZSBDTHYXH 001-2023 半导体晶圆缺陷自动光学检测设备
T/CZSBDTHYXH 001-2023 Semiconductor wafer defect automatic optical inspection equipment
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/CZSBDTHYXH 001-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-08-08
实施日期
2023-08-09
发布单位/组织
-
归口单位
常州市半导体行业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了半导体晶圆缺陷光学检测仪的术语和定义、产品型号、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求
发布历史
-
2023年08月
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研制信息
- 起草单位：
- 江苏维普光电科技有限公司、常州市半导体行业协会、国家半导体照明产品质量检验检测中心（江苏）（常州检验检测标准认证研究院）、常州工学院
- 起草人：
- 刘建明、刘庄、张彦鹏、周佼、王宏才、郭魂、张鸣杰
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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