GB/T 40110-2021 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染

ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT401102021ISO147062014

表面化学分析

全反射射线荧光光谱法()

XTXRF

测定硅片表面元素污染

—

SurfacechemicalanalsisDeterminationofsurface

y

elementalcontaminationonsiliconwafersbtotal-reflection

y

()

X-rafluorescenceTXRFsectrosco

yppy

(:,)

ISO147062014IDT

2021-05-21发布2021-12-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT401102021ISO147062014

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4缩略语……………………2

5原理………………………2

6仪器设备…………………2

7试样制备及其测量环境…………………2

8校准参考物质……………3

9安全性……………………3

10测量程序…………………3

11结果表达…………………4

12精密度……………………5

13测试报告…………………5

()………………

附录资料性参考物质

A6

()………………………

附录资料性相对灵敏度因子

B