T/NXCL 28-2024 半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚
T/NXCL 28-2024 Synthetic quartz crucible used for growth of monocrystalline silicon for semiconductor grade
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/NXCL 28-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-02-06
实施日期
2024-02-06
发布单位/组织
-
归口单位
宁夏材料研究学会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面的内容。本文件适用于合成石英砂（成分：二氧化硅）为内层原料，采用电弧熔融法工艺生产，应用于直拉法半导体级单晶硅生长的石英坩埚
发布历史
-
2024年02月
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研制信息
- 起草单位：
- 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、宁夏大学、宁夏高创特能源科技有限公司、宁夏旭樱新能源科技有限公司
- 起草人：
- 李长苏、熊欢、何玉鹏、陈荣贵、王建军、史海贝、闫素婷、陈金莲、马万保、马荣天、王黎光、芮阳、李海波、盛旺、田宝春
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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