T/NXCL 28-2024 半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚
T/NXCL 28-2024 Synthetic quartz crucible used for growth of monocrystalline silicon for semiconductor grade
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/NXCL 28-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-02-06
实施日期
2024-02-06
发布单位/组织
-
归口单位
宁夏材料研究学会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面的内容。本文件适用于合成石英砂（成分：二氧化硅）为内层原料，采用电弧熔融法工艺生产，应用于直拉法半导体级单晶硅生长的石英坩埚
发布历史
-
2024年02月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、宁夏大学、宁夏高创特能源科技有限公司、宁夏旭樱新能源科技有限公司
- 起草人：
- 李长苏、熊欢、何玉鹏、陈荣贵、王建军、史海贝、闫素婷、陈金莲、马万保、马荣天、王黎光、芮阳、李海波、盛旺、田宝春
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/CCSA 535-2024 移动互联网+智能家居系统 智能中央控制设备技术要求 2024-07-03
- T/DTXH 001-2025 电梯无纸化维护保养 2025-03-04
- T/SPEMF 0012-2020 便携式LED投影仪 2020-09-04
- T/CCSA 219-2018 移动应用软件商店 客户端测试方法 2018-07-24
- T/CCSA 226-2018 公众无线局域网接入点和接入控制器设备技术要求 2018-12-06
- T/CCSA 533-2024 面向AR/VR的分布式云渲染系统技术要求 2024-07-03
- T/TAF 081.1-2021 移动智能终端应用软件调用行为记录能力要求 总则 2021-01-08
- T/CAICI 25-2021 5G BBU集中机柜技术规范 2021-04-21
- T/CCSA 536-2024 移动互联网+智能家居系统 智能中央控制设备测试方法 2024-07-03
- T/CCSA 537-2024 移动互联网+智能家居系统 OTT终端补充设备标识技术要求 2024-07-03