GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢

ICS71.100.20

G86OB

中华人民共和国国家标准

GB/T14851—2009

代替GB/T14851—1993

电子工业用气体磷化氢

Gasforelectronicindustry—Phosphine

2009-10-30发布2010-05-01实施

发布

GB/T14851—2009

-1.Z-—1—

刖弓

本标准代替GB/T14851-1993^电子工业用气体磷化氢》。

本标准与GB/T14851—1993相比主要变化如下：

——修改规范性引用文件（GB/T14851-1993的第2章，本版的第2章）；

——修改技术指标内容（GB/T14851—1993的第3章，本版的第3章）；

——增加电子工业用磷化氢采样安全要求（本版的4.1.2）；

——增加尾气处理的要求（本版的4.3）；

-修改砒化氢、氮、氧（氟）组分的分析方法（GB/T14851—1993的4.2、4.5、4.6,本版的4.3）；

——删去氢的分析方法（GB/T14851—1993的4.4）；

-修改二氧化碳、总姪含量的分析方法（GB/T14851—1993的4.3,本版的4.5.4.6）；

——增加一氧化碳的分析方法（见4.5）；

——增加标准样品的规定（见4.7）；

——修改水分的分析方法（GB/T14851—1993的4.7,本版的4.8）；

-修改标志、包装、贮运及安全（GB/T14851—1993的第6章、第7章，本版的第5章）；

——删去GB/T14851—1993的附录A；

-增加规范性附录A,并把采用氮离子化气相色谱法测定电子工业用磷化氢中的碑化氢、氮、氧

（氮）组分的方法写入该附录（见附录A）o

本标准的附录A为规范性附录。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。

本标准起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、大连光明化工研究院。

本标准主要起草人：周泽义、孙福楠、周鹏云。

本标准所代替标准的历次版本发布情况为：

——GB/T14851—1993O

T

GB/T14851—2009

电子工业用气体磷化氢

1范围

本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。

本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢

产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。

分子式：PH：,。

相对分子质量：33.99758（按2005年国际相对原子质量计算）。

2规范性引用文件

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有

的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究

是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。

GB190危险货物包装标志

GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB5099钢质无缝气瓶（GE5099—1994,neqISO4705：1993）

GB7144气瓶颜色标志

GB/T8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法

GB11640铝合金无缝气瓶

GB14193液化气体气瓶充装规定

气瓶安全监察规程

3技术要求

电子工业用气体磷化氢的质量应符合表1的要求。

表1技术指标

项目指标

磷化氢（PH纯度（体积分数）/10"99.999799.99999.99

碑化氢（AsH含量（体积分数）/1（）-”