GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告

GB/T 36401-2018 Surface chemical analysis—X-ray photoelectron spectroscopy—Reporting of results of thin-film analysis

国家标准中文简体现行页数：42页 | 格式：PDF

基本信息

标准号

GB/T 36401-2018

标准类型

国家标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

G04 基础标准与通用方法

国际标准分类号（ICS）

71.040.40 化学分析

发布日期

2018-06-07

实施日期

2019-05-01

发布单位/组织

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

归口单位

全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

适用范围

本标准给出了采用XPS对基材上薄膜的分析报告所需的最少信息量要求的说明。这些分析涉及化学组成和均匀薄膜厚度的测量，以及采用变角XPS、XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方式对非均匀薄膜作为深度函数的化学组成的测量。

发布历史

2018年06月

GB/T 36401-2018　表面化学分析 X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告

当前标准现行 2018-06-07

文前页预览

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研制信息

起草单位：: 厦门荷清教育咨询有限公司、清华大学化学系

起草人：: 汤丁亮、李展平、岑丹霞、姚文清、刘芬、王水菊

出版信息：: 页数：42页 | 字数：77 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS71.040.40

G04

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT364012018ISO134242013

表面化学分析X射线光电子能谱

薄膜分析结果的报告

——

SurfacechemicalanalsisX-rahotoelectronsectrosco

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Reortinofresultsofthin-filmanalsis

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(:,)

ISO134242013IDT

2018-06-07发布2019-05-01实施

国家市场监督管理总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—/:

GBT364012018ISO134242013

前言…………………………Ⅰ

引言…………………………Ⅱ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4缩略语……………………1

5XPS薄膜分析综述………………………1

5.1引言…………………1

5.2常规XPS……………2

5.3变角XPS……………3

5.4峰形分析……………3

5.5可变光子能量XPS…………………3

5.6溅射深度剖析XPS…………………3

6样品处理…………………3

7仪器和操作条件…………………………3

7.1仪器校准……………3

7.2操作条件……………4

、、……………………

8XPS方法实验条件分析参数和分析结果的报告4

8.1XPS薄膜分析方法…………………4

8.2实验条件……………4

8.3分析参数……………5

8.4汇总表示例…………………………6

8.5分析结果……………8

()…………

附录资料性附录常规

AXPS9

()………………………

附录资料性附录变角

BXPS15

()

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