GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告

ICS71.040.40

G04

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT364012018ISO134242013

表面化学分析X射线光电子能谱

薄膜分析结果的报告

——

SurfacechemicalanalsisX-rahotoelectronsectrosco

yypppy

Reortinofresultsofthin-filmanalsis

pgy

(:,)

ISO134242013IDT

2018-06-07发布2019-05-01实施

国家市场监督管理总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—/:

GBT364012018ISO134242013

目次

前言…………………………Ⅰ

引言…………………………Ⅱ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4缩略语……………………1

5XPS薄膜分析综述………………………1

5.1引言…………………1

5.2常规XPS……………2

5.3变角XPS……………3

5.4峰形分析……………3

5.5可变光子能量XPS…………………3

5.6溅射深度剖析XPS…………………3

6样品处理…………………3

7仪器和操作条件…………………………3

7.1仪器校准……………3

7.2操作条件……………4

、、……………………

8XPS方法实验条件分析参数和分析结果的报告4

8.1XPS薄膜分析方法…………………4

8.2实验条件……………4

8.3分析参数……………5

8.4汇总表示例…………………………6

8.5分析结果……………8

()…………

附录资料性附录常规

AXPS9

()………………………

附录资料性附录变角

BXPS15

()