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YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法

YS/T 987-2021 The determination of carbon content in chlorosilanes by gas chromatography-mass spectrometry

行业标准-有色金属 简体中文 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 987-2021
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H17 半金属及半导体材料分析方法
国际标准分类号（ICS）
77.040.30 金属材料化学分析
发布日期
2021-12-02
实施日期
2022-04-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
-
适用范围
本文件适用于氯硅烷中碳杂质（包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，统称甲基氯硅烷）含量的测定，测定范围（质量分数）为0.000 010%～0.10%。

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