GB/Z 122-2025 表面化学分析 辉光放电质谱 操作程序

ICS7104040

CCSG.04.

中华人民共和国国家标准化指导性技术文件

GB/Z122—2025/ISO/TS153382020

:

表面化学分析辉光放电质谱操作程序

Surfacechemicalanalysis—Glowdischargemassspectrometry—

Operatingprocedures

ISO/TS153382020IDT

(:,)

2025-12-03发布

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/Z122—2025/ISO/TS153382020

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

原理

4………………………1

仪器

5………………………1

常规操作

6…………………5

校准

7………………………6

数据采集

8…………………8

定量

9………………………9

参考文献

……………………12

Ⅰ

GB/Z122—2025/ISO/TS153382020

:

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件等同采用表面化学分析辉光放电质谱操作程序文件类型由

ISO/TS15338:2020《》,

的技术规范调整为我国的标准化指导性技术文件

ISO。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国表面化学分析标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC608)。

本文件起草单位中国科学院上海硅酸盐研究所西北核技术研究院北方工业大学宁波新材料测

:、、、

试评价中心有限公司

。

本文件主要起草人卓尚军钱荣盛成李志明陈吉文曾旺李飞腾赵迎刘安琦高捷申如香

:、、、、、、、、、、、

周紫馨李建亭杨秋时晓露孔维涛

、、、、。

Ⅲ

GB/Z122—2025/ISO/TS153382020

:

表面化学分析辉光放电质谱操作程序

1范围

本文件给出了辉光放电质谱的操作和使用程序目前在用的几种系统来自不同

(GD-MS)。GD-MS

的制造商本文件描述了所适用操作程序的差异

,。

注本文件旨在配合仪器制造商的操作手册和推荐内容使用

:。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件

。

3术语和定义

本文件没有术语和定义

。

4原理

在辉光放电源中在阴极待测样品和阳极之间施加一个电位差通过导入一种惰性气体通常为

,(),(

氩气就可以形成等离子体这种电位差可以是直流的或射频的的优点是可以直接分

)。(DC)(RF),RF

析电绝缘材料等离子体中形成的惰性气体离子和快速中性粒子被引入到样品表面它们的碰撞引起

。,

样品表面的溅射而产生中性粒子这些中性粒子扩散到等离子体中随后在等离子体的等电位区域内

。,

被电离然后可以导入质谱仪进行分析磁质谱和飞行时间质谱都可用于分析

,。。

5仪器

51离子源

.

使用的离子源有两种基本类型一种是低流速或静态离子源另一种是快流速离子源

GD-MS,“”;。

这两种类型的离子源都可以接受针状或片状试样典型的针状试样长度为直径为而典

。20mm、3mm,

型的片状试样直径为有关试样大小的更多详细信息稍后提供

20mm~40mm。。

在低流速离子源中等离子体样品池实际上是一个密封单元固定在高真空室内并有一个狭缝或

,,,

小孔为出口以允许离子离开样品池而进入质谱仪样品池的本体保持阳极电位即质谱仪的加速电

,。,

位而样品则保持在阴极电位通常比阳极电位低在这种类型的离子源中氩气流速通常为

,,1kV。,

标准状况下体积流速3或更小所使用的气体通常是氩气宜具有非常高的纯度

1sccm(,cm/min),(),

或更高等离子的功率相对比较低一般为或电位差通常为电流为

99.99995%。,2W3W;1kV,2mA

或

3mA。

图是针状样品池低流速离子源的几何形状示意图气体通过一个金属管引入样品池金属管与

1。,

样品池体形成金属对金属的密封在某些系统中使用了聚醚醚酮管替代金属管该管带有密

。,(PEEK),

封圈连接到样品池体上针状样品被固定在一个处于阴极电位的夹头中而样品池体处于阳极电位因

。,,

1