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T/CIET 1581-2025 晶圆搬运机器人通用技术要求

T/CIET 1581-2025 Universal technical requirements for wafer handling robots

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CIET 1581-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
25.040.30 工业机器人、机械手
发布日期
2025-08-11
实施日期
2025-08-11
发布单位/组织
-
归口单位
中国国际经济技术合作促进会
适用范围
本文件规定了晶圆搬运机器人的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于大气和真空环境下的晶圆搬运机器人。 本文件规定了晶圆搬运机器人的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于大气和真空环境下的晶圆搬运机器人

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研制信息

起草单位：
通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、天津龙创恒盛实业有限公司、荣耀半导体材料（嘉善）有限公司、途邦认证有限公司、京标领航标准化技术研究（北京）有限公司
起草人：
吴永利、王晓楠、耿红军、胡伟、刘岩、汪贤峰、张立龙、徐敬铭、包瑾、刘世纪
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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