T/CASME 2000-2025 半导体外延用碳化硅涂层石墨基座技术规范

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标准号

T/CASME 2000-2025

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

H 冶金

国际标准分类号（ICS）

29.045 半导体材料

发布日期

2025-06-06

实施日期

2025-07-06

发布单位/组织

归口单位

中国中小商业企业协会

适用范围

范围:本文件适用于以高纯等静压石墨为基材，经加工、纯化、化学气相沉积、表面处理、清洗等工艺过程制备的超高纯半导体外延用碳化硅石墨基座制品; 主要技术内容:本文件规定了半导体外延用碳化硅涂层石墨基座的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、包装、运输和贮存等内容

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起草单位：: 湖南德智新材料股份有限公司、成都方大炭炭复合材料股份有限公司、江苏宏基高新材料股份有限公司、湖南泰坦未来科技有限公司、广东天域半导体股份有限公司、安徽凯威半导体科技有限公司、河南锐瓷科技有限公司、辽宁汉京半导体材料有限公司、内蒙古京航特碳科技有限公司、广东精瓷新材料有限公司、通标国华标准技术咨询（北京）有限公司、华兴中科标准技术（北京）有限公司

起草人：: 余盛杰、廖家豪、窦坤鹏、赵世贵、杨波、朱刚、李江涛、盛后泉、杨捷、孙威、邓南军、丁雄杰、刘薇、朱亦辉、刘涛涛、李庆甲、杨延辉、陈闻杰、李华、任国静、张亚栋

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