GB/T 20724-2021 微束分析 薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法

ICS71.040.99

CCSN53

中华人民共和国国家标准

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GBT207242021

代替/—

GBT207242006

微束分析薄晶体厚度的

会聚束电子衍射测定方法

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2021-12-31发布2022-07-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT207242021

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4方法概述…………………3

5仪器设备…………………4

5.1主要设备……………4

5.2数据的记录与测量方式……………4

6试样………………………4

6.1一般要求……………4

6.2薄晶体试样…………………………4

6.3萃取复型或粉末试样………………4

7实验步骤…………………4

7.1仪器准备……………4

7.2获取双束会聚束电子衍射花样……………………5

7.3数据测量与计算……………………6

8测定结果的不确定度……………………7

9实验报告…………………8

()……

附录资料性硅薄晶体厚度的会聚束电子衍射技术测定示例

A9

A.1试样…………………9

A.2实验条件及参数……………………9

A.3实验结果与数据分析………………9

A.4测量结果…………………………15

参考文献……………………16