T/CEATEC 084-2025 热解氮化硼
T/CEATEC 084-2025
团体标准
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现行
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格式:PDF
基本信息
标准号
T/CEATEC 084-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2025-10-16
实施日期
2025-10-16
发布单位/组织
-
归口单位
中国欧洲经济技术合作协会
适用范围
-
发布历史
-
2025年10月
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研制信息
- 起草单位:
- 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司、中国科学院金属研究所、南京大学、博宇(天津)半导体材料有限公司、博宇(朝阳)半导体科技有限公司
- 起草人:
- 何军舫、王军勇、刘书跃、白朔、许力、姚亚刚、周鹏鑫
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
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