GB/T 37385-2019 硅中氯离子含量的测定 离子色谱法

ICS77.040

H17

中华人民共和国国家标准

/—

GBT373852019

硅中氯离子含量的测定离子色谱法

—

TestmethodforchloridecontentofsiliconIonchromatorahmethod

gpy

2019-03-25发布2020-02-01实施

国家市场监督管理总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT373852019

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)与全国半导体设备和材料标准

SACTC203

化技术委员会材料分技术委员会(//)共同提出并归口。

SACTC203SC2

:、、()

本标准起草单位江苏中能硅业科技发展有限公司新特能源股份有限公司亚洲硅业青海有限

、、、。

公司新疆协鑫新能源材料科技有限公司苏州汉谱埃文材料科技有限公司有色金属技术经济研究院

:、、、、、、、、、

本标准主要起草人王桃霞刘逸枫刘晓霞刘源君耿全荣梁博松鲁文锋胡议允贾芬

、、、、、。

张佳伟陈飞刘国霞邱艳梅宗冰李素青

Ⅰ

/—

GBT373852019

硅中氯离子含量的测定离子色谱法

1范围

本标准规定了硅中氯离子含量的离子色谱测定方法。

、、。/

本标准适用于测定棒状块状颗粒状和片状硅中氯离子含量的测定测定范围为1.0μgg至硅

中氯离子的最大固溶度。

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

/固体化工产品采样通则

GBT6679

/—分析实验室用水规格和试验方法

GBT66822008

3方法原理

,,

将样品放置在高温管式炉中进行加热样品熔化后其中的氯元素以氯离子的形式释放出来使用装

,。

有水的鼓泡吸收瓶进行吸收后用离子色谱仪测定吸收液中的氯离子含量

4干扰因素

、,,、

4.1高温管式炉中样品管样品容器的材质纯度会影响测试结果如果纯度不够高温下样品管样品

容器中的杂质会挥发出来。

、,,

4.2高温管式炉中样品管样品容器应保持洁净使用前应进行充分煅烧确保样品空白稳定后再进行

样品的分析。

,。

4.3高温管式炉需设置冷却系统保证样品管管线密封良好

,,。

4.4样品的煅烧过程需在氩气氛围下进行样品冷却至室温后才能停止氩气确保样品不被氧化

。,

4.5氩气的纯度和流速会对测试结果产生一定影响氩气的纯度不够可能导致样品被氧化氩气流速

,。

过小样品容器中的氯离子不能被充分带走氩气流速过大可能引起氯离子不能被充分吸收

5试剂和材料

:,/—。

5.1水除非另有说明本测试方法中的水应符合GBT66822008中一级水的要求

:/。

5.2氯离子标准溶液浓度为1000mL

μg

:。

5.3氩气氩气的体积分数应不小于99.999%

6仪器和设备

:。

6.1离子色谱仪配备阴离子色谱柱

1

/—

GBT373852019

:。

6.2电子天平分度值为0.1mg

移液管:、、。

6.32mL10mL20mL

:。

6.4高温管式炉最高工作温度不低于1500℃

鼓泡式吸收瓶:。

6.510mL

、:(),。

6.6样品容器样品管材质为刚玉AlOAlO纯度应不小于99%

2323

7试样

,/,

使用洁净的器具按照GBT6679的规定进行随机抽样并破碎利用样品筛收集200m~3000m

μμ

的样品。

8试验步骤

8.1试料