T/ZGCIT 029-2025 工业MEMS测试平台建设规范

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标准号

T/ZGCIT 029-2025

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

国际标准分类号（ICS）

31.200 集成电路、微电子学

发布日期

2025-03-15

实施日期

2025-03-20

发布单位/组织

归口单位

中关村智能科技发展促进会

适用范围

范围:本文件规定了工业MEMS测试平台（以下简称平台）的建设要求、核心组成、测试要求等内容。本文件适用于工业类MEMS器件的基础性测试、验收工作; 主要技术内容:本文件规定了工业MEMS测试平台（以下简称平台）的建设要求、核心组成、测试要求等内容

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起草单位：: 西安交通大学、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、南京高华科技股份有限公司、中国科学院地质与地球物理研究所、南通大学、广电计量检测集团股份有限公司、保定开拓精密仪器制造有限责任公司、中国计量大学、深圳市正宇兴电子有限公司、武汉大学、江苏联康信息股份有限公司、西北工业大学宁波研究院、余姚市永创电磁阀有限公司、上海科技大学

起草人：: 方续东、李维、李维平、李宗伟、赵继聪、陈振、罗定稳、吴岱璇、张仲恺、兰之康、熊兴崟、孙海燕、王河清、陈天平、李方浩、任雪雯、姜一平、邓杨、张诚、陈志文、舒朝玺、唐朝阳、李俊、常洪龙、严宇超、余建宏、吴涛、崔艳

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