1. 当前位置：
  2. 首页 >
  3. 团体标准 >
  4. T/ICMTIA ESG0019-2022

T/ICMTIA ESG0019-2022 集成电路用气体 二氟甲烷

T/ICMTIA ESG0019-2022 The gas used in integrated circuits is dichloromethane

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ICMTIA ESG0019-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
01.020 术语学(原则和协调配合)
发布日期
2022-05-10
实施日期
2022-05-31
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了电气特气二氟甲烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。本文件适用于由工业用二氟甲烷提纯得到的电子特气二氟甲烷

发布历史

文前页预览

当前资源暂不支持预览

研制信息

起草单位：
广东华特气体股份有限公司、福建德尔科技股份有限公司、福建博纯材料有限公司、江西华特电子化学品有限公司
起草人：
傅铸红、陈艳珊、叶相平、林百志、张奎、龚施健、赖金香、于胜、陈金彬
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

定制服务

    推荐标准

    相似标准推荐

    更多>