T/ICMTIA ESG0019-2022 集成电路用气体 二氟甲烷
T/ICMTIA ESG0019-2022 The gas used in integrated circuits is dichloromethane
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA ESG0019-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-05-10
实施日期
2022-05-31
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了电气特气二氟甲烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。本文件适用于由工业用二氟甲烷提纯得到的电子特气二氟甲烷
发布历史
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研制信息
- 起草单位：
- 广东华特气体股份有限公司、福建德尔科技股份有限公司、福建博纯材料有限公司、江西华特电子化学品有限公司
- 起草人：
- 傅铸红、陈艳珊、叶相平、林百志、张奎、龚施健、赖金香、于胜、陈金彬
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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