T/ICMTIA ESG0019-2022 集成电路用气体 二氟甲烷
T/ICMTIA ESG0019-2022 The gas used in integrated circuits is dichloromethane
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA ESG0019-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-05-10
实施日期
2022-05-31
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了电气特气二氟甲烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。本文件适用于由工业用二氟甲烷提纯得到的电子特气二氟甲烷
发布历史
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 广东华特气体股份有限公司、福建德尔科技股份有限公司、福建博纯材料有限公司、江西华特电子化学品有限公司
- 起草人：
- 傅铸红、陈艳珊、叶相平、林百志、张奎、龚施健、赖金香、于胜、陈金彬
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- CAB 1029-2014 洗车及花园用自动伸缩膨胀软管 2014-05-05
- CAQIS 1001-2012 车载智能控酒仪 2012-03-31
- CMRA/T 01-2015 承插型盘扣式钢管支架品质管理规范 2015-05-01
- CCSW 20-01-2020 工业与民用建筑防水构造设计图集和施工做法 2020-04-28
- CAB 1030-2014 汽车(热压)脚垫、后备箱垫 2014-05-15
- CBWQA/T 0001-2013 自动定压补水真空脱气机组 2013-08-01
- CBWQA/T 0003-2013 螺旋杂质分离器 2013-08-01
- CBWQA/T 0002-2013 螺旋空气分离器 2013-08-01
- CAB 1028-2014 地毯复合型汽车脚垫 2014-05-05
- CAB 1031-2014 车用遥控贮压式干粉灭火装置 2014-12-26