GB/T 46223-2025 微束分析 分析电子显微术 电子能量损失谱能量分辨率的测定方法

ICS7104050

CCSN.33.

中华人民共和国国家标准

GB/T46223—2025

微束分析分析电子显微术

电子能量损失谱能量分辨率的测定方法

Microbeamanalysis—Analyticalelectronmicroscopy—Methodforthe

determinationofenergyresolutionforelectronenergylossspectrumanalysis

ISO234202021MOD

(:,)

2025-08-29发布2026-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T46223—2025

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

符号和缩略语

4……………3

参考物质及其能量值的测定

5……………4

概述

5.1…………………4

能量标尺校准参考物质的选择

5.2……………………4

在中测量石墨中的结合能

5.3XPS……………………5

能量分辨率的测量程序

6…………………5

概述

6.1…………………5

结合能的测定

6.2………………………6

仪器和试样准备

6.3……………………7

第一能量步长δE的校准

6.4(1)…………7

用能量步长δE测量第二参考物质靠近零损失峰的谱峰E

6.51CZLP………………10

第二能量步长δE的校准

6.6(2)………………………11

测量校准后的能量分辨率E

6.7(Δ)…………………12

记录项

6.8………………13

能量分辨率测量结果的不确定度

7………………………14

附录资料性能量分辨率的定义

A()……………………15

附录资料性与值对应的碳边位置的确定方法讨论

B()XPSC1sEELSK………16

概述

B.1…………………16

细则

B.2…………………16

附录资料性能量分辨率测定程序实例

C()……………18

概述

C.1…………………18

样品

C.2…………………18

试验条件与结果

C.3……………………19

参考文献

……………………26

Ⅰ

GB/T46223—2025

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件修改采用微束分析分析电子显微术电子能量损失谱能量分辨率的测

ISO23420:2021《

定方法

》。

本文件与的技术差异及其原因如下

ISO23420:2021:

增加了对谱仪校准的要求见和以适应我国标准使用的实际情况

———XPS(5.36.2.2),;

增加了电子能量损失谱采集时进行相对厚度检查的推荐值见和增强可操作性

———(6.4.36.5.1),;

删除了文中并未使用的采集时间t并将表示试样厚度的符号由d改为t见第章以符

———“”,(4),

合本领域使用惯例

;

删除了文中未使用的术语几何因子以符合相关规定

———“”,GB/T1.1—2020;

删除了文中未使用或仅使用一次的等缩略语

———CCD、CFE、CMOS、CRM、EEL、GUM、S/TEM

和表示采集时间的t和累加次数n等符号以符合相关规定

,GB/T1.1—2020。

本文件做了下列结构调整

:

第章的相关内容调整至附录使结构更清晰符合中文阅读习惯

———ISO23420:20215A,,;

更改了附录的顺序将原附录调整至附录使结构更清晰符合中文阅读习惯

———,AC,,。

本文件做了下列编辑性改动

:

更换了附录现为附录中的能量分辨率测定程序实例增加了电子能量损失谱采集时进

———A(C),

行相对厚度检查的步骤以增加标准易用性

,。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC38)。

本文件起草单位北京化工大学中国科学院化学研究所

:、。

本文件主要起草人洪崧王岩华

:、。

Ⅲ

GB/T46223—2025

引言

电子能量损失谱仪常配置于扫描透射电子显微镜或透射电子显微镜

(EELS)(STEM)(TEM)

中通过分析入射电子的能量损失实现对材料的化学成分原子成键和电子结构的解析

,,、。

电子能量损失谱分析测定入射电子由于光子和等离激元的激发带间和带内跃迁以及内层电离等

、,

非弹性相互作用造成的能量损失其中尤其有用的是内层电子的电离造成的能量损失可以给出材料

。,,

的化学成分信息精确的能量损失谱分析需基于谱峰分解和能量偏移的测定为此确定电子能量损失

。,,

谱的能量分辨率至关重要因而其能量分辨率的测定方法亟需标准化

。,。

本文件提供了校准能量步长并测定能量分辨率的程序以用于在配备有的电子显微镜设备

,EELS

中进行能量损失谱分析

。

Ⅳ

GB/T46223—2025

微束分析分析电子显微术

电子能量损失谱能量分辨率的测定方法

1范围

本文件描述了配备电子能量损失谱仪简称能损谱仪的透射电子显微镜或扫描

(“”,EELS)(TEM)

透射电子显微镜中电子能量损失谱简称能损谱能量分辨率的测定程序

(STEM)(“”)。

本文件适用于内置型和后置型的包括采用并行检测系统和串行检测系统的谱仪

EELS,。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

表面化学分析射线光电子能谱仪能量标尺的校准

GB/T22571—2017X(ISO15472:

2010,IDT)

微束分析分析电子显微学术语

GB/T40300—2021(ISO15932:2013,MOD)

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T40300—2021。

31

.

束直径beamdiameter

扫描透射电子显微镜观察时入射电子束强度曲线的半高宽

(STEM)(FWHM)。

32

.

伯尔施效应Boerscheffect

由于电子束中电子之间的库仑相互作用造成的电子束能量分散

(3.5)。

33

.

通道channel

在并行检测能损谱仪的检测器上一个像素的范围

。

34

.

收集角collectionangle

能损谱仪或能量过滤器的入口光阑直径对试样所成的夹角

。

注实际应用中通常用收集半角表示即收集角的一半

:,。

35

.

库仑相互作用Coulombinteraction

电子之间因电荷产生的斥力

。

1