GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢

ICS71．100．20

G86

a目

中华人民共和国国家标准

26250--2010

GB／T

电子工业用气体砷化氢

Gasesforelectronic

industry--Arsine

201201

1-01-14发布1—05—01实施

宰瞀鹊鬻瓣警糌瞥星发布中国国家标准化管理委员会厘111

26250--2010

GB／T

前言

本标准的附录A和附录B为规范性附录。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(sAc／Tc203)提出。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC／TC203／SC1)归口。

本标准起草单位：西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院。

本标准主要起草人：孙福楠、方华、周鹏云、庄鸿涛、李建浩。

26250--2010

GB／T

电子工业用气体砷化氢

1范围

本标准规定了砷化氢的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。

本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及

化合物半导体外延。

分子式：AsH。。

相对分子质量：77．94542(按2007年国际相对原子质量计算)。

2规范性引用文件

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有

的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究

是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注El期的引用文件，其最新版本适用于本标准。

GB

190危险货物包装标志

GB／T3723工业用化学产品采样安全通则

GB

5099钢质无缝气瓶

GB／T5832．1气体湿度的测定第1部分：电解法

GB

7144气瓶颜色标志

GB／T8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法

GB／T11640铝合金无缝气瓶

GB

14193液化气体气瓶充装规定

GB／T26571特种气体储存期规范

《气瓶安全监察规程》(国家质量监督检验检疫总局发布，2000年)

3技术要求

砷化氢的质量应符合表1的要求。

表1技术指标

项目指标

砷化氢(AsH。)纯度(体积分数)／10以≥99．999

氧(Oz)+氩(At)含量(体积分数)／10州<1

氮(Nz)含量(体积分数)／10-6<3

一氧化碳(cO)含量(体积分数)／10“<1

二氧化碳(CO。)含量(体积分数)／10“<1

甲烷(CH．)含量(体积分数)／10“<1

水(H。O)古量(体积分数)／10叫<3

磷化氢(PH。)含量(体积分数)／10“<0．5

总杂质含量(体积分数)／10“≤10

颗粒供需双方商定

金属离子