GB/T 26533-2011 俄歇电子能谱分析方法通则

ICS

37．020：17．180

N33

囝目

中华人民共和国国家标准

26533--201I

GB／T

俄歇电子能谱分析方法通则

General

rulesforelectron

Augerspectroscopicanalysis

201

1-05-12发布

宰瞀鹃鬻瓣警麟瞥星发布中国国家标准化管理委员会厘111

26533--2011

GB／T

目次

前言…………………·……………………一Ⅲ

2规范性引用文件…………···…····…………………·…·1

3术语和定义………………1

4方法原理………·………····……………．1

5．1仪器组成……………·……………--2

5．2仪器性能…·…………··…····……．．3

7分析步骤……………·……·····……··…·…………·…………………～4

7．1能量标尺校正…………·…………·………………·4

7．2AES定性分析及操作步骤…………6

7．3俄歇电子能谱的定量分析……·…………………一6

7．4深度剖析………………·…………········…………7

7．5元素化学态分析…·····………··…………·………·7

8分析结果的表述………·…··……………7

8．1俄歇全谱…………………··········…···…………．．7

8．2窄谱…·……………“7

8．3线扫描谱……………·……········……···……·…………···……--7

8．4深度剖析谱……………………··…·……………····……···……··7

8．5多点显微对比分析…………………8

8．6样品表面元素分布图(Augermap)…·…………一8

8．7分析结果表述方式…………………8

图1KL。乙3俄歇跃迁…………·……………2

图2俄歇电子能谱简图……………………·2

图3Cu、Au和Al三个参考物质的直接谱和微分谱(相对能量分辨率0．3％)………·5

表1参考物质的俄歇电子动能参考值

26533--2011

GB／T

刖胃

本标准按照GB／T1．1—2009给出的规则起草。

本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC／TC38)提出并归日。

本标准起草单位：清华大学化学系。

本标准主要起草人：姚文清、李展平、曹立礼、朱永法。

Ⅲ

GB／T26533—2011

俄歇电子能谱分析方法通则

1范围

Electron

本标准规定了以电子柬为激发源的俄歇电子能谱(AES，Auger

分析方法。

本标准适用于俄歇电子能谱仪。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB／T22461--2008表面化学分析词汇

ISO／TRChemical

15969：2001表面化学分析深度分析溅射深度的测量(SurfaceAnalysis—

of

DepthProfiling--MeasurementSputtered

Depth)

IS0ChemicalAnal—

18116：2005表面化学分析表面分析样品的制备和固定方法指南(Surface

forandoffor

ysis—GuidelinesPreparationMountingAnalysis)

Specimens

ISO

ChemicalandXPS--GuidetouseofRelativeSensi—

子使用指南(SurfaceAnalysis--AES