GB/T 44759-2024 高纯镍靶材

ICS

77.150.40

CCS

H62

中华人民共和国国家标准

GB/T44759—2024

高纯镍靶材

Highpuritynickeltarget

2024-10-26发布2025-05-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T44759—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规

定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国有色金属工业协会提出。

本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口。

本文件起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、金川集团股份有限公司、有研亿金新材料有限

公司、上海同创普润新材料有限公司、南京达迈科技实业股份有限公司。

本文件主要起草人：姚力军、边逸军、廖培君、胡家彦、杨慧珍、王学泽、周友平、杨晓艳、

汤婷、吴东青、张亚东、朱孜毅、吴宇宁、干科军、钟成铭、黄引驰、时晓旭。

Ⅰ

GB/T44759—2024

高纯镍靶材

1范围

本文件规定了高纯镍靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随

行文件和订货单内容。

本文件适用于半导体行业用的高纯镍靶材。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用

于本文件。

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YS/T837溅射靶材﹘背板结合质量超声波检验方法

YS/T1012高纯镍化学分析方法杂质元素含量的测定辉光放电质谱法

3术语和定义

GB/T39159界定的术语和定义适用于本文件。

4分类

4.1产品按外形分为圆形和方形，或由需方提供图纸。

4.2产品按化学成分分为Ni4N、Ni4N5、Ni5N三个牌号。

4.3产品按结构形式分为复合体靶材和单体靶材，结构示意图如图1所示。

a）复合体靶材b）单体靶材

标引序号说明：

1─靶坯；

2─背板。

图1

靶材结构示意图

5技术要求

5.1化学成分

产品的化学成分应符合表1和表2的规定。

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