GB/T 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术 术语

ICS31.080.99

CCSL59

中华人民共和国国家标准

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GBT261112023

代替/—

GBT261112010

微机电系统()技术术语

MEMS

—

Micro-electromechanicalsstemtechnoloTerms

ygy

(:,—

IEC62047-12016SemiconductordevicesMicro-electromechanical

—:,)

devicesPart1TermsanddefinitionsMOD

2023-05-23发布2023-09-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT261112023

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

3.1通用术语和定义……………………1

3.2与科学和工程有关的术语和定义…………………2

3.3与材料科学有关的术语和定义……………………3

3.4与功能元件有关的术语和定义……………………3

3.5与加工技术有关的术语和定义……………………7

3.6与键合和装配技术有关的术语和定义……………12

3.7与测量技术有关的术语和定义……………………14

3.8与应用技术有关的术语和定义……………………15

()/—………………

附录资料性本文件与相比的主要技术变化

AGBT26111201018

参考文献……………………26

索引…………………………27

Ⅰ

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GBT261112023

前言