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GB/T 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术 术语

GB/T 26111-2023 Micro-electromechanical system technology—Terms

国家标准 中文简体 现行 页数：36页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 26111-2023
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L59 微型组件
国际标准分类号（ICS）
31.080.99 其他半导体分立器件
发布日期
2023-05-23
实施日期
2023-09-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
本文件界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。本文件适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。

发布历史

文前页预览

GB/T 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术 术语-第1页
GB/T 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术 术语-第2页
GB/T 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术 术语-第3页
GB/T 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术 术语-第4页

研制信息

起草单位：
中机生产力促进中心有限公司、西安知微传感技术有限公司、苏州大学、北京大学、无锡华润上华科技有限公司、中国科学院空天信息创新研究院、北京航空航天大学、上海交通大学、天津大学、北京航天控制仪器研究所、西安现代控制技术研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、北京晨晶电子有限公司、天津新智感知科技有限公司、 中国电子科技集团公司第十三研究所、中国科学院微电子研究所、广州广电计量检测股份有限公司、南京高华科技股份有限公司、杭州左蓝微电子技术有限公司、广州奥松电子股份有限公司、华东光电集成器件研究所、江苏普诺威电子股份有限公司、明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司
起草人：
顾枫、宋秀敏、李根梓、孙立宁、张大成、夏长奉、夏善红、董全林、张卫平、胡晓东、刘会聪、邢朝洋、刘奎、熊斌、张永斌、张威、崔波、陈得民、王玮冰、明志茂、李晓波、SHUMINZHANG、张宾、张胜兵、杨飞、高峰
出版信息：
页数：36页 | 字数：72 千字 | 开本： 大16开

内容描述

ICS31.080.99

CCSL59

中华人民共和国国家标准

/—

GBT261112023

代替/—

GBT261112010

微机电系统()技术术语

MEMS

—

Micro-electromechanicalsstemtechnoloTerms

ygy

(:,—

IEC62047-12016SemiconductordevicesMicro-electromechanical

—:,)

devicesPart1TermsanddefinitionsMOD

2023-05-23发布2023-09-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT261112023

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

3.1通用术语和定义……………………1

3.2与科学和工程有关的术语和定义…………………2

3.3与材料科学有关的术语和定义……………………3

3.4与功能元件有关的术语和定义……………………3

3.5与加工技术有关的术语和定义……………………7

3.6与键合和装配技术有关的术语和定义……………12

3.7与测量技术有关的术语和定义……………………14

3.8与应用技术有关的术语和定义……………………15

()/—………………

附录资料性本文件与相比的主要技术变化

AGBT26111201018

参考文献……………………26

索引…………………………27

Ⅰ

/—

GBT261112023

前言

定制服务

    推荐标准

    关联标准

    替代以下标准
    GB/T 26111-2010
    GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
    被代替
    采用标准
    IEC 62047-1:2016
    IEC 62047-1:2016

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