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GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语

GB/T 26111-2010 Micro-electromechanical system technology—Terms

国家标准 中文简体 被代替 已被新标准代替，建议下载标准 GB/T 26111-2023 | 页数：36页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 26111-2010
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
L55/59 微电路
国际标准分类号（ICS）
31.200 集成电路、微电子学
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。
本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。

发布历史

文前页预览

GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语-第1页
GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语-第2页
GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语-第3页
GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语-第4页

研制信息

起草单位：
中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学
起草人：
丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波
出版信息：
页数：36页 | 字数：62 千字 | 开本： 大16开

内容描述

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