GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
GB/T 26111-2010 Micro-electromechanical system technology—Terms
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。
本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
发布历史
-
2011年01月
-
2023年05月
研制信息
- 起草单位：
- 中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学
- 起草人：
- 丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波
- 出版信息：
- 页数：36页 | 字数：62 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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