GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术术语

GB/T 26111-2010 Micro-electromechanical system technology—Terms

国家标准中文简体 被代替 已被新标准代替，建议下载标准 GB/T 26111-2023 | 页数：36页 | 格式：PDF

基本信息

标准号

GB/T 26111-2010

标准类型

国家标准

标准状态

被代替

中国标准分类号（CCS）

L55/59 微电路

国际标准分类号（ICS）

31.200 集成电路、微电子学

发布日期

2011-01-10

实施日期

2011-10-01

发布单位/组织

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

归口单位

全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

适用范围

本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。
本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。

发布历史

2011年01月

GB/T 26111-2010　微机电系统(MEMS)技术术语

当前标准被代替 2011-01-10
2023年05月

GB/T 26111-2023　微机电系统(MEMS)技术术语

现行 2023-05-23

文前页预览

研制信息

起草单位：: 中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学

起草人：: 丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波

出版信息：: 页数：36页 | 字数：62 千字 | 开本：大16开

内容描述

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GB/T 2900.66-2004

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