GB/T 17864-1999 关键尺寸(CD)计量方法
GB/T 17864-1999 CD Metrology procedures
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 17864-1999
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
1999-09-13
实施日期
2000-06-01
发布单位/组织
国家质量技术监督局
归口单位
SEMI中国标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
1999年09月
研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院微电子中心
- 起草人：
- 陈宝钦、陈森锦、廖温初、刘明
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：15 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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