YS/T 985-2014 硅抛光回收片

YS/T 985-2014 Polished reclaimed silicon wafers

行业标准-有色金属中文简体现行页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号

YS/T 985-2014

相关服务

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标准类型

行业标准-有色金属

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

H80/84 半金属与半导体材料

国际标准分类号（ICS）

29.045 半导体材料

发布日期

2014-10-14

实施日期

2015-04-01

发布单位/组织

中华人民共和国工业和信息化部

归口单位

全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

适用范围

本标准规定了硅抛光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片(主要包括100 mm、125 mm、150 mm和200 mm单面或双面抛光硅片、未抛光硅片或外延硅片)经单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。另外使用方需注意硅回收片的热历史、体沾污和表面沉积物情况。

发布历史

2014年10月

YS/T 985-2014　硅抛光回收片

当前标准现行 2014-10-14

文前页预览

研制信息

起草单位：: 浙江金瑞泓科技股份有限公司

起草人：: 何良恩、刘丹、许峰、张海英、孙燕、曹孜、王飞尧、楼春兰、徐新华

出版信息：: 页数：12页 | 字数：22 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS29.045

H80

中华人民共和国有色金属行业标准

/—

YST9852014

硅抛光回收片

Polishedreclaimedsiliconwafers

2014-10-14发布2015-04-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

/—

YST9852014

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

《》,

本标准修改采用SEMIM38-0307硅抛光回收片规范本标准与SEMIM38-0307相比存在技术

,()。

性差异这些差异涉及的条款已通过在其外侧页边空白位置的垂直单线|进行了标识内容与

SEMIM38-0307的主要差别在于:

———仅采用了中关于、、和硅抛光回收片的内

SEMIM38-0307100mm125mm150mm200mm

,、(

容删除了原标准中关于和直径的硅抛光回收片内容包括附录

50.8mm76.2mm300mm

1和附录2)。

———将中表和表中关于、、和

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关联标准

采用标准

SEMI M38-0307

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