GB/T 34479-2017 硅片字母数字标志规范

ICS29.045

H80

中华人民共和国国家标准

/—

GBT344792017

硅片字母数字标志规范

Secificationforalhanumericmarkinofsiliconwafers

ppg

2017-10-14发布2018-07-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT344792017

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)与全国半导体设备和材料标准

SACTC203

化技术委员会材料分技术委员会(//)共同提出并归口。

SACTC203SC2

:、。

本标准起草单位有研半导体材料有限公司浙江省硅材料质量检验中心

:、、、。

本标准主要起草人张静孙燕边永智楼春兰

Ⅰ

/—

GBT344792017

硅片字母数字标志规范

1范围

,、

本标准规定了硅片或其他半导体晶片上字母数字标志的编码规范包括标志的形状和尺寸字母数

、。

字代码的定义要求和字母数字错码检验方法等

本标准适用于在硅片及其他晶片正面或背面的编码标志。

:,()、,

注字母数字标志及关联信息存入数据库可被简单的自动光学字符读数OCR仪或人工进行独立快速识别确

保晶片制造商对晶片标记的一致性。

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

/半导体材料术语

GBT14264

供应商识别码列表()

SEMIAUX001Listofvendoridentificationcodes

自动光学字符读数字符概述()

SEMIAUX015SEMIOCRcharacteroutlines

3术语和定义

/界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

GBT14264

3.1

字符间隔charactersearation

p

任意字符的相邻边界之间的水平距离。

3.2

字符间距charactersacin

pg

相邻字符的字符中心线之间的水平距离。

3.3

字符倾斜度characterskew

字符的基线与字符的窗口底部平行线之间的字符倾斜度。

3.4

相邻字符未对准度charactermisalinment

g

Rad

j

同一行两个相邻字符的字符基线之间的垂直距离。

3.5

行字符未对准度linesacinmisalinment

pgg

Rline

同一行中最高和最低字符的基线之间的垂直距离。

4标志的形状和尺寸

,,,

写入字符时可使用实线法或点阵法最小点阵尺寸应为水平方向个点垂直方向个点如图

4.1591

1

/—

GBT344792017

,。,,

所示也可使用更多的点或实线为了保证识别的可靠性尤其是对有切口的硅片或有较多的字符时

。。

宜采用更高的点阵密度自动读数及其可靠性建议参见附录A

:,,。

注图中所示的5×9点阵是所允许的最小点数也可以使用更多的点直到使用实线

图1字符轮廓示意图

,。

字符及间距的尺寸定义如图所示具体要求应符合表的规定

4.211

表1字符尺寸单位为毫米

要求

字符尺寸

直径、和有参考面的硅片直径和有切口的硅片

100mm125mm150mm150mm200mm

高度0.812±0.0251.624±0.025

宽度0.406±0.0250.812±0.025

厚度a+0.025

0.100±0.0500.200

-0.150

字符间距0.710±0.0251.420±0.025

最小字符间隔0.0140.308

a字母“”对角线的厚度应为。

N0.138mm±0.050mm

5字母数字代码

5.1代码内容

,,。

代码由一行位字符组成标准字符集见表见

5.1.1182SEMIAUX015

,,

代码的前位是由硅片供方提供的唯一性识别码除第位应为数字外第位第位是字母

5.1.2881~7

,,。,。

或数字第位和第位是供方识别码见表代码示例如图所示具体可见

91032SEMIAUX001

,()。

任意指定位置缺少字符时应用短划线代替

5.1.3-

表2标准字符集

2

/—

GBT344792017

表3代码内容

字符位置字符类型参数代码定义

1

2

3

A~Z或

/

4字母数字识别码

0~9供方指定

5

6

7

8只有数字识别码0~9

9

()

只有字母供方识别码A~Z见SEMIAUX001

10

11

(·)

电阻率Ωcm识别码由

12

只有数字电阻率识别码和供方以全部或部分数字

0~9.

13

,

规定不代表准确度

14

B硼