GB/T 15074-2025 电子探针定量分析方法通则

ICS71.040.99

CCSN53

中华人民共和国国家标准

/—

GBT150742025

代替/—

GBT150742008

电子探针定量分析方法通则

GeneralsecificationforEPMAuantitativeanalsis

pqy

2025-03-28发布2025-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT150742025

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4方法原理…………………1

5仪器设备和标样…………………………1

6试样制备…………………3

7测量前的准备……………3

8测量条件…………………4

9测量步骤…………………5

10各元素质量分数的计算…………………6

11测量不确定度…………………………10

12分析报告………………12

()……

附录资料性电子探针定量分析结果测量不确定度评定示例

A13

Ⅰ

/—

GBT150742025

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/—《》,/—,

本文件代替GBT150742008电子探针定量分析方法通则与GBT150742008相比除结

,:

构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

)(,);

更改了范围见第章年版的第章

a120081

)();

增加了术语和定义见第章

b3

)(,);

更改了方法原理的表述见第章年版的第章

c420083

)(,);

更改了电子探针主要结构图和描述见年版的第章

d5.1.120084

)();

e增加了电子探针束流稳定度的要求见5.1.2

)/();

f增加了电子探针校准检定的建议见5.1.2

)(,);

更改了电子探针环境条件的要求见年版的第章

g5.220085

)、(,);

更改了标样的选择原则要求和使用见年版的第章

h5.320088

)(,);

更改了试样制备的要求见第章年版的

i6200812.1

),,(

更改了测量前的准备内容删除了射线计数系统增加了综合检查总量误差的要求见第

jX7

章,年版的第章);

20086

)(,);

k更改了加速电压的推荐值见8.12008年版的7.1

)(,);

l更改了电子束流选择原则见8.2.12008年版的7.2.1

)();

m增加了谱线干扰解决方法见8.3.3

),(,);

n更改了束斑直径的描述增加了试样和标样束斑直径应一致的要求见8.42008年版的7.4

)(,);

o更改了定性分析的目的见9.12008年版的9.1

)(,);

p更改了元素测量顺序的建议见9.2.12008年版的12.2.2

)();

删除了各元素射线强度测量的次序见年版的

qX200812.3

)();

r增加了不能测试轻元素的处理方式见9.2.2

)(,);

s更改了背底强度的测量公式见9.3.52008年版的11.6

)(,);

更改了相对射线强度的计算公式见年版的

tX10.220089.4

)(,);

u更改了ZAF校正法的元素适用范围见10.3.2.12008年版的13.2.1

)()();

增加了法和法见和

vφρzXPP10.3.310.3.4

)(、)(,);

更改了系数校正法法因子法见年版的

wαB-Aα10.3.5200813.3

)(,);

x更改了校准曲线法选用标样的数量见10.3.6.22008年版的13.4.2

)();

增加了测量不确定度的评定步骤见第章

y11

)(,)。

更改了分析报告的要求见第章年版的第章

z12200815

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由全国微束分析标准化技术委员会(/)提出并归口。

SACTC38

:、、、

本文件起草单位核工业北京地质研究院中国地质科学院矿产资源研究所首钢集团有限公司

广东省科学院工业分析检测中心。

:、、、、。

本文件主要起草人葛祥坤范光陈振宇鞠新华伍超群

,,。

本文件于1994年首次发布2008年第一次修订本次为第二次修订

Ⅲ

/—

GBT150742025

电子探针定量分析方法通则

1范围

()、、、

本文件规定了电子探针显微分析仪电子探针定量分析的仪器设备标准样品试样制备测量前

、、、、、

的准备测量条件的选择测量过程电子束入射电流的测量各元素质量分数的计算测量不确定度的

评定和结果报告。

,

本文件适用于电子探针对试样中各元素的定量测量及数据处理带有波谱仪的扫描电镜的定量分

析参照执行。

2规范性引用文件

。,

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

,;,()

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

本文件。

/数据的统计处理和解释正态样本离群值的判断和处理

GBT4883

/微束分析电子探针显微分析标准样品技术条件导则

GBT4930

/金属显微组织检验方法

GBT13298

/微束分析原子序数不小于的元素能谱法定量分析

GBT1735911

/矿物岩石的电子探针分析试样的制备方法

GBT17366

/波谱法定性点分析电子探针显微分析导则

GBT20725

/微束分析电子探针显微分析()术语

GBT21636EPMA

/检测和校准实验室能力的通用要求

GBT27025

JJG901电子探针分析仪

3术语和定义

/界定的术语和定义适用于本文件。

GBT21636

4方法原理

。

电子探针定量分析方法是一种对微区成分进行定量分析的方法该方法是应用具有一定能量的会

,,

聚电子束轰击试样激发出其组成元素的特征射线通过波谱仪对特征射线进行分光和强度测

XX

,(),,

量并和相同条件下标准样品以下简称标样的特征射线强度进行比较经校正计算从而获得试样

X

被激发区内各元素含量值。

5仪器设备和标样

5.1电子探针

、、、、、、

电子探针主要由电子枪透镜系统光学显微镜样品室波谱仪射线测量系统图像信号检

5.1.1X

1