GB/T 35306-2023 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
GB/T 35306-2023 Determination of carbon and oxygen content in single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry method
国家标准
中文简体
现行
页数：7页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 35306-2023
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2023-08-06
实施日期
2024-03-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本文件描述了采用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧含量的方法。
本文件适用于室温电阻率大于1 Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于3 Ω·cm的p型硅单晶中代位碳、间隙氧含量的测定，测定范围(以原子数计)为2.5×1014 cm-3~1.5×1017 cm-3。
本文件适用于室温电阻率大于1 Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于3 Ω·cm的p型硅单晶中代位碳、间隙氧含量的测定，测定范围(以原子数计)为2.5×1014 cm-3~1.5×1017 cm-3。
发布历史
-
2017年12月
-
2023年08月
研制信息
- 起草单位：
- 青海芯测科技有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、洛阳中硅高科技有限公司、布鲁克(北京)科技有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、弘元新材料(包头)有限公司、高景太阳能股份有限公司
- 起草人：
- 薛心禄、秦榕、李素青、杨晓青、邓浩、岳玉芳、李明珍、赵雄、张园园、赵跃、雷浩东、蔡延国、陈卫国、路盛刚、徐岩、张遵、邱艳梅、李向宇、杨阳、徐志群、汪奇
- 出版信息：
- 页数：7页 | 字数：15 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS77.040
CCSH17
中华人民共和国国家标准
/—
GBT353062023
代替/—
GBT353062017
、
硅单晶中碳氧含量的测定
低温傅立叶变换红外光谱法
Determinationofcarbonandoxencontentinsinlecrstalsilicon—
yggy
Lowtemeraturefouriertransforminfraredsectrometrmethod
ppy
2023-08-06发布2024-03-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT353062023
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GBT1.120201
起草。
/—《、》,
本文件代替硅单晶中碳氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法与
GBT353062017
/—,,:
GBT353062017相比除结构调整和编辑性改动外主要技术变化如下
)(,);
更改了适用范围见第章年版的第章
a120171
)(,);
更改了方法原理见第章年版的第章
b
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