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T/SDTC 010-2025 光刻机用氧化铝陶瓷导轨

T/SDTC 010-2025 Optical lithography machine with aluminum oxide ceramic guide rail

团体标准 中文(简体) 即将实施 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/SDTC 010-2025
标准类型
团体标准
标准状态
即将实施
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
81.060.30 高级陶瓷
发布日期
2025-07-14
实施日期
2025-09-01
发布单位/组织
-
归口单位
山东省陶瓷协会
适用范围
主要技术内容:外观质量，尺寸及形位公差，表面粗糙度，氧化铝含量， 体积密度，维氏硬度， 常温弯曲强度，弹性模量，平均线热膨胀系数等

发布历史

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研制信息

起草单位：
山东硅元新型材料股份有限公司、中国科学院上海硅酸盐研究所、上海微电子装备（集团）股份有限公司、淄博市传统产业发展中心、淄博市检验检测计量研究总院、淄博华创精细陶瓷有限公司、山东省硅酸盐研究设计院有限公司
起草人：
杨东亮、周国红、罗维志、朱岳彬、张健、王立波、苏明磊、王正娟、李新振、李伦、张超、古娜、徐海森、尹航、于松彬、王亮
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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