T/SDTC 010-2025 光刻机用氧化铝陶瓷导轨
T/SDTC 010-2025 Optical lithography machine with aluminum oxide ceramic guide rail
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/SDTC 010-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2025-07-14
实施日期
2025-09-01
发布单位/组织
-
归口单位
山东省陶瓷协会
适用范围
主要技术内容:外观质量，尺寸及形位公差，表面粗糙度，氧化铝含量， 体积密度，维氏硬度， 常温弯曲强度，弹性模量，平均线热膨胀系数等
发布历史
-
2025年07月
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研制信息
- 起草单位：
- 山东硅元新型材料股份有限公司、中国科学院上海硅酸盐研究所、上海微电子装备（集团）股份有限公司、淄博市传统产业发展中心、淄博市检验检测计量研究总院、淄博华创精细陶瓷有限公司、山东省硅酸盐研究设计院有限公司
- 起草人：
- 杨东亮、周国红、罗维志、朱岳彬、张健、王立波、苏明磊、王正娟、李新振、李伦、张超、古娜、徐海森、尹航、于松彬、王亮
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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