T/IAWBS 001-2021 碳化硅单晶
T/IAWBS 001-2021 Silicon carbide single crystal
团体标准
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/IAWBS 001-2021
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
-
实施日期
-
发布单位/组织
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
归口单位
-
适用范围
本文件规定了4H及6H碳化硅单晶的产品分类、技术要求、检测方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。
本文件适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。
发布历史
-
1970年01月
-
2017年12月
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研制信息
- 起草单位：
- -
- 起草人：
- -
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：25 千字 | 开本： -
内容描述
暂无内容
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