T/CSTM 00003-2019 二维材料厚度测量原子力显微镜法

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标准号

T/CSTM 00003-2019

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

N70/79 试验机与无损探伤仪器

国际标准分类号（ICS）

07.030 物理学、化学

发布日期

2019-01-03

实施日期

2019-02-01

发布单位/组织

归口单位

中关村材料试验技术联盟

适用范围

主要技术内容:本标准规定了二维材料厚度测量原子力显微镜法的原理、仪器设备、样品前处理、测试方法、厚度计算方法、测量结果的不确定度评定及测试报告。本标准适用于可以与基底形成台阶的二维材料厚度测量

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起草单位：: 中国计量科学研究院、北京市理化分析测试中心、广州特种承压设备检测研究院、布鲁克（北京）科技有限公司、江南石墨烯研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心、上海交通大学分析测试中心、中国计量大学

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