GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
GB/T 8758-2006 Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
国家标准
中文简体
现行
页数：6页
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格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2006-07-18
实施日期
2006-11-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会
适用范围
本标准适用于砷化镓外延片外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阻率小于0.02Ω·cm，外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。
发布历史
-
1988年02月
-
2006年07月
研制信息
- 起草单位：
- 北京有色金属研究总院
- 起草人：
- 王彤涵
- 出版信息：
- 页数：6页 | 字数：8 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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