GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

GB/T 8758-2006 Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference

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基本信息

标准号

GB/T 8758-2006

标准类型

国家标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

H17 半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号（ICS）

77.040.01 金属材料试验综合

发布日期

2006-07-18

实施日期

2006-11-01

发布单位/组织

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

归口单位

全国有色金属标准化技术委员会

适用范围

本标准适用于砷化镓外延片外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阻率小于0.02Ω·cm，外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。

发布历史

1988年02月

GB/T 8758-1988　砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

被代替 1988-02-25
2006年07月

GB/T 8758-2006　砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

当前标准现行 2006-07-18

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研制信息

起草单位：: 北京有色金属研究总院

起草人：: 王彤涵

出版信息：: 页数：6页 | 字数：8 千字 | 开本：大16开

内容描述

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